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尹燕

作品数：4 被引量：11H指数：2
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信机械工程理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文期刊文章

领域

  • 2篇机械工程
  • 2篇电子电信
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 4篇光学
  • 3篇光学系统
  • 1篇软件设计
  • 1篇视场
  • 1篇象面
  • 1篇模拟计算
  • 1篇均匀照明
  • 1篇光电
  • 1篇光电子
  • 1篇光电子技术
  • 1篇光刻
  • 1篇光学设计
  • 1篇广角
  • 1篇广角镜头
  • 1篇和光
  • 1篇非共轴
  • 1篇非球面
  • 1篇非球面光学
  • 1篇分辨率
  • 1篇高分辨率

机构

  • 4篇中国科学院

作者

  • 4篇林大键
  • 4篇尹燕
  • 1篇周崇喜

传媒

  • 2篇光电工程
  • 1篇微细加工技术
  • 1篇光学工程

年份

  • 1篇1999
  • 1篇1995
  • 1篇1991
  • 1篇1989
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
大视场紫外高均匀照明光学系统构成原理和光能分布模拟计算被引量：6
1999年
叙述紫外（ｉ 线）均匀照明光学系统构成原理和光能分布模拟计算设计方法。举例说明用开发的模拟设计软件ＯＰＴＥＮＧ，设计和模拟计算了一个大视场均匀照明光学系统，在照明面积为１００ｍ ｍ ×１００ｍ ｍ 范围内，照明光能分布不均匀性小于±２ ％ 。
林大键周崇喜尹燕
关键词：光学系统均匀照明光刻
非共轴非球面光学系统计算软件设计被引量：1
1991年
本文描述了一个非常规光学系统计算软件。光学系统可包括倾斜、偏心的球面和非球面。本文解决了一般非共轴光学系统初始数据建立问题,提供了光学系统图形显示,并对光线光路追迹结果进行了一些处理和讨论。
尹燕林大键
关键词：光学系统非球面
高分辨率广角球象面光学物镜基本概念和光学设计方法
1995年
叙述球象面光学物镜实现大视场高分辨率的基本概念和光学设计要点。
林大键尹燕
关键词：广角镜头高分辨率光学设计光电子技术
通用光线光路计算公式被引量：4
1989年
本文叙述了适用于各种面形(球面、非球面、平面、非轴对称面)的共轴和非共轴光学系统的通用光线光路计算公式。这些公式均适用于计算机编程进行光学计算。
尹燕林大键
关键词：光学系统
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