任权 作品数:6 被引量:6 H指数:2 供职机构: 中国科学院电工研究所 更多>> 相关领域: 自动化与计算机技术 电子电信 理学 更多>>
基于微悬臂梁的传感技术研究 被引量:3 2010年 本文对基于微悬臂梁的传感技术从四方面展开讨论,分别介绍了微悬臂梁的制造工艺,修饰技术,激励、检测和控制技术,以及与其它电路的工艺集成技术。微悬臂梁在液体中,工作在动态模式时,品质因数的提高问题一直是国内外研究的焦点。本文的重点便是介绍国际上最新出现的两种品质因子控制技术,一种是对微悬臂梁的材料进行了改进,使其在水溶液的品质因数达到40,另一种是把液体环境转移到悬臂梁内部,使其在水溶液中的品质因数达到700。 张奇 任权 靳鹏云 韩立关键词:微悬臂梁 传感技术 品质因数 一种基于巨磁电阻的传感器 一种基于巨磁电阻的传感器,包括巨磁电阻元件[1],压电元件[2],附有磁性物质的微型悬臂梁[3],巨磁电阻元件[1]的引出电极和引入电极[4和5],压电元件[2]的引出电极和引入电极[6和7]。微型悬臂梁[3]固定在压电... 王丽娜 韩立 任权文献传递 聚酰亚胺薄膜表面微纳米尺度下电荷特性的研究 被引量:3 2007年 利用静电力显微镜(electrostatic force microscope,EFM)在微纳米尺度下对聚酰亚胺薄膜表面的电荷起因及特性进行研究。采用Dimension 3100型扫描探针显微镜的导电探针摩擦聚酰亚胺薄膜表面,在薄膜微纳米区域内产生电荷分布。通过静电力显微镜对微纳米区域产生的电荷进行表征,得出探针摩擦速度、探针电压对表面电荷的极性、密度、区域分布有很大的影响。同时也为微纳米尺度下探索聚合物绝缘材料表面电荷生成规律和机理提供了一个新的研究方法和途径。 赵慧斌 任权 韩立关键词:聚酰亚胺 表面电荷 扫描探针显微镜 一种基于巨磁电阻的传感器 一种基于巨磁电阻的传感器,包括巨磁电阻元件[1],压电元件[2],附有磁性物质的微型悬臂梁[3],巨磁电阻元件[1]的引出电极和引入电极[4和5],压电元件[2]的引出电极和引入电极[6和7]。微型悬臂梁[3]固定在压电... 王丽娜 韩立 任权文献传递 基于微悬臂梁的传感技术研究 本文对基于微悬臂梁的传感技术从四方面展开讨论,分别介绍了微悬臂梁的制造工艺,修饰技术,激励、检测和控制技术,以及与其它电路的工艺集成技术。微悬臂梁在液体中,工作在动态模式时,品质因数的提高问题一直是国内外研究的焦点。本文... 张奇 任权 靳鹏云 韩立关键词:微悬臂梁 传感技术 品质因数 修饰技术 控制技术 文献传递 PMMA薄膜nm尺度下表面电荷的制备和观察 2007年 利用扫描探针显微镜(SPM)的导电探针在PMMA薄膜表面μm/nm尺度下通过摩擦方式产生了电荷,并用静电力显微镜(EFM)对生成的电荷进行了观察。讨论了生成电荷的极性、数量、区域大小与摩擦过程中探针加工速度、所加电压大小及正负之间的关系:产生电荷的极性与摩擦过程中针尖所加电压的正负保持一致,且所加电压越大,产生电荷的区域和面积越大。但相同情况下,PMMA表面出现的正电荷区域和数量要多于负电荷;针尖带电摩擦时,摩擦速度越快,产生电荷的数量和区域也随之减小。为探索PMMA表面电荷生成规律及生成机理提供了一种新的途径。 赵慧斌 任权 韩立关键词:聚甲基丙烯酸甲酯 表面电荷 扫描探针显微镜