丁彭刚
- 作品数：5 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 化学机械抛光设备关键技术研究被引量：4
- 2012年
- 化学机械抛光（CMP）技术作为目前唯一可提供在整个晶圆片上全面平坦化的工艺技术,已被越来越广泛地应用到了半导体领域。介绍了CMP技术原理、晶片夹持、抛光台温度控制、抛光垫修整、终点检测、抛光后清洗等技术以及未来对国内CMP设备的展望。
- 高文泉丁彭刚徐存良
- 关键词：夹持温度控制
- 摆动单线切割机控制系统设计
- 2016年
- 针对超硬材料的切割特点,提出了摆动式单线切割机控制系统的设计方案,结合不同材料的工艺研究,不断完善和增强了线切割机的应用范围和切割效率。
- 丁彭刚陈煜
- 关键词：同步控制PID控制
- 电机齿轮耦合技术在多线切割机排线上的技术研究
- 2017年
- 介绍了电子齿轮耦合技术在摆动式单线切割机上的理论研究,详细分析了摆动式金刚石单线切割机的排线工作过程,最后完成了该技术在设备上的实际应用,以及向相似设备技术输出的共性技术研究。
- 丁彭刚陈煜吴学宾
- 蓝宝石切割工艺研究
- 2016年
- 介绍了蓝宝石晶体特性及主要应用,总结出了蓝宝石切割的技术要求。并在自主研发设备的基础上,进行了工艺切割试验,取得了良好的切割效果。
- 陈煜丁彭刚付纯鹤
- 多线切割机电气控制设计被引量：3
- 2012年
- 多线切割机是硬脆性材料精密切片加工的电子专用设备。介绍了多线切割机的应用,分析了切割机加工轴辊的同步控制,提出了张力控制在切割机中的重要作用及稳定、有效张力控制系统的研究,分析了收放线轮的排线控制和切割机的温度和流量控制。
- 丁彭刚王双全庄文波王亚君
- 关键词：同步控制PID控制
