蒋丽雯
- 作品数：9 被引量：17H指数：2
- 供职机构：上海大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金上海市教育委员会重点学科基金更多>>
- 相关领域：理学电子电信核科学技术一般工业技术更多>>
- 纳米金刚石薄膜的光学性能研究被引量：7
- 2006年
- 用热丝化学气相(HFCVD)法在硅衬底上制备了表面光滑、晶粒致密均匀的纳米金刚石薄膜,用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观测薄膜的表面形貌和粗糙度,拉曼光谱表征膜层结构,紫外-可见光分光光度计测量其光透过率,并用椭圆偏振仪测试、建模、拟合获得了表征薄膜光学性质的n,k值.结果表明薄膜的晶粒尺寸在100nm以下,表面粗糙度仅为21nm;厚度为3.26(m薄膜在632.8nm波长处的透过率为25%,1100nm波长处达到50%.采用直接光跃迁机制估算得到纳米金刚石薄膜的光学能隙(Eg)为4.3 eV.
- 蒋丽雯王林军刘健敏阮建锋苏青峰崔江涛吴南春史伟民夏义本
- 关键词：纳米金刚石薄膜表面粗糙度
- X射线光刻掩模版的制备方法
- 本发明涉及一种X射线光刻掩模版的制备方法，属光刻掩模版制造技术领域。本发明主要采用热丝化学气相沉积法沉积的金刚石薄膜作为X射线光刻掩模基膜材料，并通过改进的工艺参数和后期处理工艺，改善金刚石薄膜的性能，提高金刚石薄膜的光...
- 王林军夏义本任玲蒋丽雯刘健敏苏青峰
- 文献传递
- 晶粒尺寸对CVD金刚石膜电学特性的影响被引量：1
- 2006年
- 通过改变生长参数,采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了从10μm到90nm四种晶粒尺寸的金刚石膜,并制作了三明治结构的光电导探测器。采用原子力显微镜和拉曼光谱仪研究了薄膜的结构和表面形貌:表面粗糙度从423nm变化到15nm;晶粒越大,金刚石膜的质量越好。I-V特性测试结果表明随着晶粒尺寸的减小,金刚石膜的电阻率从1011Ω.cm减小到106Ω.cm。在5.9 keV的55Fe X射线辐照下,随着晶粒尺寸的减小,探测器的信噪比(SNR)呈减小趋势。
- 崔江涛王林军苏青峰阮建锋蒋丽雯史伟民夏义本
- 关键词：金刚石膜电学特性晶粒尺寸HFCVD
- 多层式金刚石薄膜的制备工艺研究被引量：1
- 2006年
- 利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,沉积了晶粒尺寸逐层减小的多层式金刚石薄膜。场发射扫描电镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)测试显示其表层晶粒平均尺寸约为20nm,厚度和表面平均粗糙度分别为35.81μm和18.8nm(2μm×2μm),皆能满足高频声表面波器件用衬底的要求。实验结果表明,多层式生长方法是制备声表面波器件用金刚石衬底的理想方法。
- 阮建锋夏义本王林军刘健敏蒋丽雯崔江涛苏青峰史伟民
- 关键词：纳米金刚石HFCVD表面粗糙度声表面波
- 用于高频声表面波器件的CVD金刚石衬底的研究被引量：1
- 2006年
- 使用纳米金刚石粉研磨工艺预处理硅片衬底抛光面,在低气压成核的条件下,以丙酮和氢气为反应物,采用传统的热丝辅助化学气相沉积法,制备了自支撑金刚石膜;通过射频磁控溅射法沉积氧化锌薄膜在自支撑金刚石膜的成核面,形成氧化锌/自支撑金刚石膜结构.通过光学显微镜、扫描电镜及原子力显微镜测试自支撑金刚石膜成核面的表面形貌.研究结果表明:成核期的低气压有助于提高成核密度,成核面表面粗糙度约为1.5 nm;拉曼光谱显示1334 cm-1附近尖锐的散射峰与金刚石SP3键相对应,成核面含有少量的石墨相,且受到压应力的作用;ZnO/自支撑金刚石膜结构的XRD谱显示,氧化锌薄膜有尖锐的(002)面衍射峰,是c轴择优取向生长的.
- 刘健敏夏义本王林军阮建锋苏青峰蒋丽雯史伟民
- 关键词：表面粗糙度氧化锌薄膜声表面波器件
- 低粗糙度金刚石薄膜的制备及其光学性能的表征被引量：1
- 2007年
- 采用热丝化学气相沉积(HFCVD)方法,在反应气压、衬底温度一定的情况下,通过改变碳源浓度以制备低粗糙度金刚石薄膜.扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)测试结果表明,随着碳源浓度适当增加(从2%增加到3%),金刚石薄膜表面晶粒尺寸减小到纳米量级,平均粗糙度从45 nm降低到21 nm,同时光学透过率下降.椭圆偏振光谱拟合结果显示,随着碳源浓度的增加,薄膜折射率n稍有偏离理想值.拉曼散射光谱显示随着碳源浓度的增加,薄膜中非金刚石相含量增加,一定程度上影响了薄膜的光学质量.结果表明,在表面粗糙度相差不大的情况下,薄膜的质量决定了其光学性质.
- 施凌云王林军蒋丽雯刘健敏夏义本
- 关键词：金刚石薄膜碳源浓度表面粗糙度光学性质
- 纳米金刚石薄膜的制备及光学性能的研究
- 本文对纳米金刚石薄膜的制备及光学性能进行了研究。文章采用热丝辅助化学气相沉积(HFCVD)法，通过优化沉积参数制备出了晶粒大小和表面粗糙度都达到纳米级的金刚石薄膜。并运用SEM、AFM、XRD和Raman光谱仪等手段研究...
- 蒋丽雯
- 关键词：光学材料纳米金刚石金刚石薄膜
- 文献传递
- 气体电子倍增器(GEM)探测器被引量：6
- 2003年
- 气体电子倍增器(GEM)作为一种新型气体电离室探测器,具有结构简单、性能卓越、兼容性强等优点,广泛应用于高能物理、核物理等多个领域。介绍了GEM探测器的原理、研究现状及发展应用。
- 汪琳夏义本王林军张明龙杨莹张伟丽阮建峰蒋丽雯
- 关键词：GEM
- X射线光刻掩模版的制备方法
- 本发明涉及一种X射线光刻掩模版的制备方法，属光刻掩模版制造技术领域。本发明主要采用热丝化学气相沉积法沉积的金刚石薄膜作为X射线光刻掩模基膜材料，并通过改进的工艺参数和后期处理工艺，改善金刚石薄膜的性能，提高金刚石薄膜的光...
- 王林军夏义本任玲蒋丽雯刘健敏苏青峰
- 文献传递
