程春生
- 作品数：8 被引量：5H指数：1
- 供职机构：河北大学物理科学与技术学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金河北省自然科学基金河北省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：理学电子电信电气工程更多>>
- 一种氧化物铁电存储单元及制备方法
- 本发明提供一种氧化物铁电存储单元，用成本低、抗氧化性强、无氧通道的金属间化合物材料作为导电氧扩散阻挡层以替代Ir(Pt)阻挡层，通过选择磁控溅射工艺参数实现阻挡层及相关氧化物电极的制备。这种氧化物铁电存储单元，由硅衬底、...
- 刘保亭李锋程春生赵庆勋闫正
- 文献传递
- 含NiTi阻挡层的硅基(La_(0.5)Sr_(0.5))CoO_3/Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3/(La_(0.5)Sr_(0.5))CoO_3铁电电容器异质结被引量：1
- 2007年
- 应用磁控溅射法制备的非晶NiTi薄膜作阻挡层,在Si(100)衬底上构造了(La0.5Sr0.5)CoO3/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/(La0.5Sr0.5)CoO3(LSCO/PZT/LSCO)铁电电容器异质结,研究了Pb(Zr0.4Ti0.6)O3铁电薄膜的结构和物理性能。实验发现LSCO/PZT/LSCO铁电电容器具有良好的电学性能,在417kV/cm的驱动场强下,PZT铁电电容器具有较低的矫顽场强(125kV/cm)和较高的剩余极化强度(19.0μC/cm2),良好电容-电压特性(C-V)和保持特性,铁电电容器经过1010次反转后,极化强度没有明显下降,表明了非晶NiTi薄膜可以用作高密度硅基铁电存储器的扩散阻挡层。
- 刘保亭闫小兵程春生李锋马良赵庆勋闫正
- 关键词：NITI阻挡层
- 硅基外延La-Sr-Co-O/Pb-Zr-Ti-O/La-Sr-Co-O异质结的制备
- 2006年
- 在外延SrTiO3(STO)作为缓冲层的Si基片上,应用溶胶-凝胶法(sol-gel)和磁控溅射法,在550℃温度下制备了外延的La0.5Sr0.5CoO3/Pb(Zr0.2Ti0.8)O3/La0.5Sr0.5CoO3(LSCO/PZT/LSCO)异质结。X射线衍射结果表明,LSCO/PZT/LSCO异质结是c向外延生长的。当外加电压为60 V时,LSCO/PZT/LSCO铁电电容器的剩余极化强度为50.3μC/cm2,当电压为30 V时,铁电电容器有效极化强度为80μC/cm2。其它电学性能表明,PZT铁电电容器具有较高的电阻率和脉冲宽度对极化强度的影响较弱。
- 刘保亭李锋闫正赵庆勋张未涛程春生乔晓东孙宏丽
- 关键词：溶胶-凝胶法异质结
- 硅基高度择优取向PZT厚膜的制备及性能研究被引量：1
- 2006年
- 应用溶胶-凝胶法成功地在以SrTiO3(STO)为模板/阻挡层Si(001)基片上制备了La-Sr-Co-O/Pb(Zr0.5Ti0.5)O3(PZT)/La-Sr-Co-O/STO/Si异质结,PZT的厚度为0.8μm。研究了异质结的结构和性能。实验发现,PZT结晶良好、具有(001)高度择优取向以及较高的极化强度和较小的极化强度对脉冲宽度的依赖性;当外加电压为50V时,电阻率仍>108Ω.cm。
- 刘保亭程春生赵庆勋闫正马良李锋武德起
- 关键词：硅衬底锆钛酸铅溶胶-凝胶法厚膜
- 玻璃基Pt/Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3/ITO电容器的结构及物理性能研究
- 2010年
- 采用溶胶-凝胶方法在玻璃基ITO电极上制备了Pt/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3(PZT)/ITO电容器.采用X射线衍射仪、铁电测试仪、分光光度计对其微观结构、电学性能及光学性能进行了测量.结果表明PZT薄膜结晶良好,具有(101)高度择优取向.铁电电容器具有良好的保持特性和抗疲劳特性,具有较大的剩余极化强度和电阻率,5V电压下的剩余极化强度和电阻率分别为41.7μC/cm2和2.5×109Ω.cm;漏电流测量结果表明电压小于0.8V时为欧姆导电机制,当电压大于0.8V时,漏电流满足肖特基发射机制.光学透射谱结果表明在短波范围内,PZT表现出强吸收作用;在长波范围内,PZT表现为强透射,最大透射率达到95%.
- 周阳程春生赵敬伟郑红芳赵庆勋彭英才刘保亭
- 关键词：溶胶-凝胶法电学性能
- 铁电厚膜溶胶-凝胶法的制备与探讨被引量：3
- 2006年
- 随着微电子机械系统和集成光学等应用的发展,铁电厚膜及其溶胶凝胶法的制备越来越受到人们的关注.结合研究组的科研工作,介绍了铁电厚膜溶胶凝胶法的制备过程以及采取的一些措施,并对铁电厚膜研究中的一些主要相关问题进行了讨论.
- 程春生张子生阎正赵庆勋刘世普刘丽华刘保亭
- 关键词：溶胶-凝胶法微电子机械系统
- Pb（Zr，Ti）O/_3铁电电容器结构与性能研究
- 采用溶胶-凝胶法/(Sol-Gel/)在不同的基片、不同的电极上制备了Pb/(Zr,Ti/)O3/(PZT/)薄膜,构造了不同的电容器结构,并进行了多种性能的检测和分析。
采用一次退火研究了退火温度对PZT电...
- 程春生
- 关键词：溶胶-凝胶法PZT铁电电容器
- 文献传递
- 一种氧化物铁电存储单元及制备方法
- 本发明提供一种氧化物铁电存储单元，用成本低、抗氧化性强、无氧通道的金属间化合物材料作为导电氧扩散阻挡层以替代Ir(Pt)阻挡层，通过选择磁控溅射工艺参数实现阻挡层及相关氧化物电极的制备。这种氧化物铁电存储单元，由硅衬底、...
- 刘保亭李锋程春生赵庆勋闫正
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