王久丽
- 作品数：17 被引量：80H指数：5
- 供职机构：中国科学院物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学金属学及工艺化学工程一般工业技术更多>>
- 脉冲高能量密度等离子体沉积(Ti,Al)N薄膜组织及其性能研究被引量：4
- 2005年
- 利用脉冲高能量密度等离子体技术在室温条件下在 4 5 #钢基材表面沉积了高硬度耐腐蚀 (Ti,Al)N薄膜 .利用扫描电子显微镜、X射线衍射、X射线光电子能谱、俄歇电子能谱分析了薄膜的显微组织 .利用纳米压痕仪测试了薄膜的纳米硬度 .测试了薄膜在 0 5mol LH2 SO4 水溶液中的耐蚀性 .测试结果表明 :薄膜主要组成相为 (Ti,Al)N ,同时含有少量的AlN ,薄膜的纳米硬度高达 2 6GPa ,薄膜具有良好的耐蚀性 ,与 1Cr18Ni9Ti奥氏体不锈钢相比 ,耐蚀性提高了一个数量级 .
- 刘元富韩建民张谷令王久丽陈光良李雪明冯文然范松华刘赤子杨思泽
- 关键词：(TI,AL)N耐蚀性1CR18NI9TI奥氏体不锈钢俄歇电子能谱室温条件
- 金属管件内壁栅极增强等离子体源离子注入的轴向特性研究被引量：4
- 2007年
- 栅极增强等离子体源离子注入(GEPSII)一种新的金属管件内壁处理方法,该方法能够均匀地对金属管件内壁进行离子注入,并且能够生成二元金属化合物.在金属管件内轴向放置三块45号钢样品,利用GEPSII方法在金属管件内壁成功生长金黄色氮化钛(TiN)薄膜.结构分析显示TiN主要沿(111)和(200)晶面生长,深度分析显示膜的厚度大约二十几纳米,膜质地均匀且在基底有一定的嵌入深度.电化学腐蚀、硬度、磨擦学分析表明TiN薄膜很好地改善了45号钢的表面性能,并且表现出很高的轴向均匀性.
- 张谷令王久丽陈光良冯文然顾伟超牛二武范松华刘赤子杨思泽
- 关键词：内表面氮化钛
- 双磁辅助式管状工件内表面改性装置
- 本实用新型涉及一种提高管状工件内部的气体离化率，将管状工件置于一个加工室中，并将一柱状电极和一可允许等离子体扩散的管状电极由内至外同轴布置在该管状工件内，该两电极与射频电源接通，在管状电极和管状工件间连接一负高压电源，还...
- 杨思泽张谷令王久丽刘元富
- 文献传递
- 脉冲高能量密度等离子体法类金刚石膜的制备及分析被引量：17
- 2003年
- 利用脉冲高能量密度等离子体法在光学玻璃衬底上、在室温下成功的制备了光滑、致密、均匀的纳米类金刚石膜 .工艺研究表明 :放电电压和放电距离以及工作气体种类对纳米类金刚石膜的沉积起着关键作用 .利用拉曼光谱、扫描电镜以及电子能量损失谱分析薄膜的形态结构表明 :薄膜具有典型的类金刚石特征 ;纳米类金刚石膜的晶粒尺寸小于 2 0nm甚至为非晶态 ;类金刚石膜中含有一定量的氮原子 ,随着沉积能量的升高 ,氮的含量增大 .纳米类金刚石膜的薄膜电阻超过 10 9Ω cm2 .对放电溅射过程进行了理论分析 ,结果与工艺研究的结论吻合 .
- 杨武保范松华刘赤子张谷令王久丽杨思泽
- 关键词：类金刚石膜拉曼光谱扫描电镜
- 一种等离子体材料处理设备
- 本实用新型涉及一种等离子体材料处理设备，包括：用绝缘材料制作的床体，其床体下端口设置一气体分配器，和在气体分配器下面安装一漏斗形进气口，进气口通过带气体流量计的管道与气源相连；床体上部的侧壁上开有气体出口，在床体的气体出...
- 陈光良杨思泽张谷令王久丽刘元富冯文然刘赤子
- 文献传递
- 管型材料离子注入内表面改性研究进展被引量：2
- 2003年
- 利用在管材中心引入同轴接地电极并在金属管材上加脉冲负偏压以产生径向离子加速电场,实现了金属管材内表面离子注入。目前国内外还有其它一些技术手段实现材料内表面改性,如脉冲放电爆炸金属箔注入、离子束溅射沉积、等离子体化学气相沉积法等。这些实验方法所遇到的主要问题是离子注入沿轴向不均勺、膜与基底结合不牢。在原实验方法基础上,又提出了一种新的方法——栅极增强等离子体源离子注入法。实验结果表明:此方法不但可以大大提高离子注入沿轴向的均匀性。
- 杨思泽张谷令王久丽刘斌范松华杨武保刘元富
- 关键词：改性
- 栅极增强等离子体源离子注入内表面改性鞘层动力学研究
- 栅极增强等离子体源离子注入(Grid-enhanced plasma source ion implantation,简称GEPSII)方法是我们实验室新近提出的一种用于管状材料内表面改性的新方法.针对此实验方法,该文利...
- 王久丽
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- 脉冲高能量密度等离子体法制备TiN薄膜及其摩擦磨损性能研究被引量：33
- 2004年
- 利用脉冲高能量密度等离子体技术在室温条件下在 4 5号钢基材上制备出了超硬耐磨TiN薄膜 .利用XRD ,XPS ,AES ,SEM等手段分析了薄膜的成分及显微组织结构 ,并测试了薄膜的硬度分布及摩擦磨损性能 .结果表明 :薄膜主要组成相为TiN ,薄膜组织致密、均匀 ,与基材之间存在较宽的混合界面 ;薄膜硬度高 。
- 刘元富张谷令王久丽刘赤子杨思泽
- 关键词：薄膜生长耐磨性显微组织
- 高阻隔碳氢膜的制备及性能研究被引量：6
- 2005年
- 利用射频等离子体化学气象沉积法 (r.f.PECVD) ,在 12 μm厚的聚对苯二甲酸乙二醇酯 (PET)上制备了碳氢膜 .用原子力显微镜 (AFM) ,x射线光电子能谱 (XPS) ,激光拉曼光谱 ,傅里叶红外光谱等仪器 ,对碳氢膜的表面形貌和内部结构特性进行了较详细研究 .镀碳氢膜PET的阻隔性能在标准透水蒸气测试仪上进行检测 .实验结果证明 :沉积工艺参数对碳氢膜的生长速率及结构性能有重要影响 ;在PET上沉积的是纳米碳氢膜 ,该膜主要由sp2 和sp3杂化的碳氢化合物组成 ;当PET上碳氢膜厚度为 90 0nm时 ,阻水蒸气性能可提高 7倍 .
- 陈光良葛袁静张越飞张广秋张谷令王久丽刘元福顾伟超冯文然刘赤子杨思泽
- 关键词：聚对苯二甲酸乙二醇酯傅里叶红外光谱射频等离子体
- 在常温大气压下对材料进行处理的等离子体流化床及方法
- 本发明涉及一种在常温大气压下对材料进行处理的等离子体流化床，包括：用绝缘材料制作的床体，其床体下端口设置一气体分配器，和在气体分配器下面安装一漏斗形进气口，进气口通过带气体流量计的管道与气源相连；床体上部的侧壁上开有气体...
- 陈光良杨思泽张谷令王久丽刘元富冯文然刘赤子
- 文献传递
