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易三铭

作品数：2 被引量：11H指数：1
供职机构：南开大学更多>>
相关领域：电子电信一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇激光
  • 1篇掩模
  • 1篇有限差分
  • 1篇有限差分法
  • 1篇激光清洗
  • 1篇激光直写
  • 1篇差分法

机构

  • 2篇南开大学
  • 1篇国家知识产权...

作者

  • 2篇易三铭
  • 1篇宋峰
  • 1篇施曙东
  • 1篇尹伟恺
  • 1篇李伟

传媒

  • 1篇清洗世界

年份

  • 1篇2013
  • 1篇2009
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
激光直写MTMO掩模机理研究
对金属纳米薄膜进行激光直写加工，利用金属的热氧化作用，可以实现超衍射加工，制备出金属-透明金属氧化物(简称MTMO)的灰度掩模。本文分析了加工过程中的物理、化学过程，重点研究了激光与金属薄膜相互作用的光热及热传导过程。结...
易三铭
关键词：激光直写有限差分法
文献传递
从激光清洗专利看激光清洗技术的发展被引量：11
2009年
对激光清洗技术的专利情况进行了分析,介绍了激光清洗专利技术的国内外状况。并对激光清洗技术的发展过程结合相关专利进行了回顾。通过分析该领域专利,揭示当前激光清洗理论和应用的发展状况。
施曙东李伟易三铭尹伟恺宋峰
关键词：激光清洗
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