张亚民
- 作品数：19 被引量：28H指数：4
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市科委纳米专项基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：电气工程理学一般工业技术机械工程更多>>
- 非晶软磁薄膜巨磁阻抗效应及应力阻抗效应研究
- 本文系统研究了非晶态FeCuNbCrSiB软磁薄膜材料的最佳制备工艺条件及在最佳条件下制备的FeCuNbCrSiB单层膜、三明治结构多层膜的巨磁阻抗效应及应力阻抗效应。主要研究结果如下： ...
- 张亚民
- 关键词：巨磁阻抗效应
- 文献传递
- FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜巨磁阻抗效应研究
- 研究了非晶FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜在100kHz～40MHz范围内的巨磁阻抗效应(其大小用磁阻抗比表示).当磁场和交流电流沿薄膜的纵向时,磁阻抗比随磁场的增大而增强,在磁场约1600A/m下达到最大值,然后随...
- 周勇陈吉安杨春生高孝裕王明军张亚民
- 关键词：巨磁阻抗效应磁各向异性磁场
- 文献传递
- 软磁多层膜力敏传感器及其制备方法
- 本发明提供一种软磁多层膜力敏传感器及其制备方法，传感器中曲折型的软磁多层膜力敏器件由中间铜导电层、铜导电层外围包裹的软磁薄膜及软磁薄膜上的顶层保护层构成三明治结构，引脚从铜导电层引出，整个力敏器件位于硅悬臂梁上，硅悬臂梁...
- 周勇陈吉安丁文张亚民高孝裕
- 文献传递
- FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜巨磁阻抗效应研究
- 研究了非晶FeSiB/Cu/FeSiB夹心薄膜在100kHz-40MHz范围内的巨磁阻抗效应（其大小用磁阻抗比表示）。当磁场和交流电流沿薄膜的纵向时,磁阻抗比随磁场的增大而增强,在磁场约1600A/m下达到最大值,然后随...
- 周勇陈吉安杨春生高孝裕王明军张亚民
- 关键词：巨磁阻抗效应磁各向异性
- 文献传递
- 微桥结构镍膜的弹性模量和残余应力研究被引量：4
- 2003年
- 采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了宽度在微米尺度的镍(Ni)膜微桥结构试样。采用纳米压痕仪(Nanoindenter)XP系统的楔形压头测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜的弹性模量及残余应力,分别为190GPa和87MPa。与采用纳米压痕仪直接测得的带有硅(Si)基底的Ni膜弹性模量(186.8±7.5)GPa相符合。
- 陈吉安杨春生周勇丁桂甫王莉王明军张亚民张泰华
- 关键词：MEMS弹性模量残余应力
- 微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量被引量：1
- 2004年
- 利用MEMS技术制作了不同尺寸的镍(Ni)膜微桥结构样品。采用纳米压痕仪XP系统测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了两种不同尺寸的Ni膜的弹性模量和残余应力。结果表明,两种不同尺寸的Ni膜的弹性模量结果一致,为190 GPa左右,但是残余应力变化较大。与采用纳米压痕仪直接测得的带有硅(Si)基底的Ni膜弹性模量186.8 7.5 GPa相比较,两者符合较好。
- 王明军周勇陈吉安杨春生张亚民高孝裕周志敏张泰华
- 关键词：MEMS技术弹性模量残余应力
- Cu层宽度对弯曲型三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜应力阻抗效应的影响
- 2005年
- 基于MEMS微细加工工艺,利用磁控溅射方法在Si基片上制备了不同Cu层宽度弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1～40MHz下研究了Cu层宽度对多层膜的应力阻抗效应的影响。结果表明,弯曲型三明治结构多层膜的应力阻抗(SJ)效应随Cu层宽度的变化有明显的变化,在频率5MHz、基片自由端在y轴方向偏移的距离h为1500μm时,当Cu层宽度为0.4mm时,应力阻抗效应达-25%左右。
- 陈吉安张亚民赵晓昱周勇周志敏王明军高孝裕
- 关键词：微细加工
- FeCuNbCrSiB薄膜的制备及其巨磁阻抗效应研究被引量：1
- 2005年
- 采用磁控溅射方法,在玻璃基片上制备了非晶的Fe73.5Cu1Nb3Cr0.5Si13B9薄膜及三明治结构M/C/M(M为Fe73.5Cu1Nb3Cr0.5Si13B9;C为Cu)的多层膜.在频率(1～40)MHz下,研究了薄膜材料的巨磁阻抗(GMI)效应随外加磁场的变化关系.结果表明:单层膜的GMI效应较小,只有4.4%;而三明治结构多层膜的GMI效应,比单层膜有较大幅度的提高,在5MHz、120Oe下,纵向和横向GMI效应分别达-17.4%和-20.7%.薄膜材料的纵向GMI效应随外加磁场变化呈现先增后减,而横向GMI效应随外加磁场的增加而单调递减,其变化规律与薄膜的易轴取向有很大关系.
- 张亚民陈吉安周勇丁文王明军高孝裕
- 关键词：电子技术巨磁阻抗效应
- 弯曲型三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜巨磁阻抗效应研究
- 2005年
- 利用磁控溅射方法及微细加工技术制备了弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1～40MHz下研究了多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应,结果表明弯曲型三明治结构多层膜的巨磁阻抗效应高于它的传统的多层膜。在频率10MHz、磁场11.94kA/m下巨磁阻抗效应达-50%。
- 张亚民陈吉安丁文周勇王明军高孝裕周志敏
- 关键词：巨磁阻抗微细加工
- 微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究被引量：2
- 2004年
- 采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了镍(Ni)膜微桥结构试样,应用陶瓷压条为承力单元,与纳米压痕仪XP系统的Berkovich三棱锥压头相结合,解决了较宽Ni膜微桥加载问题。测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜微桥的杨氏模量及残余应力,其值分别为190.5GPa和146MPa,与应用纳米压痕仪直接测得的带有Si基底的Ni膜杨氏模量186.8±7.34GPa相吻合。
- 周勇王明军杨春生陈吉安王莉丁桂甫张亚民高孝裕张泰华
- 关键词：MEMS技术力学性能
