陈吉安
- 作品数：79 被引量：108H指数：6
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 发文基金：上海市科委纳米专项基金国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电气工程机械工程更多>>
- 微桥结构Ni膜杨氏模量和残余应力研究被引量：2
- 2004年
- 采用MEMS(MicroelectromechanicalSystems)技术研制了镍(Ni)膜微桥结构试样,应用陶瓷压条为承力单元,与纳米压痕仪XP系统的Berkovich三棱锥压头相结合,解决了较宽Ni膜微桥加载问题。测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了Ni膜微桥的杨氏模量及残余应力,其值分别为190.5GPa和146MPa,与应用纳米压痕仪直接测得的带有Si基底的Ni膜杨氏模量186.8±7.34GPa相吻合。
- 周勇王明军杨春生陈吉安王莉丁桂甫张亚民高孝裕张泰华
- 关键词：MEMS技术力学性能
- FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB薄膜各层宽度对其巨磁阻抗效应的影响
- 2005年
- 采用射频磁控溅射方法,利用微细加工工艺制备了不同薄膜宽度的三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1～40MHz下研究了薄膜宽度对多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应的影响。结果表明,三明治结构多层膜的巨磁阻抗效应随薄膜宽度的变化具有显著的影响,当FeCuNbCrSiB层、Cu层宽度分别取1.6mm、0.8mm时,GMI%达到最大值-21.22645%。
- 张亚民陈吉安周勇丁文王明军高孝裕周志敏
- 关键词：巨磁阻抗
- 微桥法镍膜的弹性模量和残余应力测量被引量：1
- 2004年
- 利用MEMS技术制作了不同尺寸的镍(Ni)膜微桥结构样品。采用纳米压痕仪XP系统测量了微桥载荷与位移的关系,并结合微桥力学理论模型得到了两种不同尺寸的Ni膜的弹性模量和残余应力。结果表明,两种不同尺寸的Ni膜的弹性模量结果一致,为190 GPa左右,但是残余应力变化较大。与采用纳米压痕仪直接测得的带有硅(Si)基底的Ni膜弹性模量186.8 7.5 GPa相比较,两者符合较好。
- 王明军周勇陈吉安杨春生张亚民高孝裕周志敏张泰华
- 关键词：MEMS技术弹性模量残余应力
- Cu层宽度对弯曲型三明治结构FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜应力阻抗效应的影响
- 2005年
- 基于MEMS微细加工工艺,利用磁控溅射方法在Si基片上制备了不同Cu层宽度弯曲型三明治结构的FeCuNbCrSiB/Cu/FeCuNbCrSiB多层膜,在频率1～40MHz下研究了Cu层宽度对多层膜的应力阻抗效应的影响。结果表明,弯曲型三明治结构多层膜的应力阻抗(SJ)效应随Cu层宽度的变化有明显的变化,在频率5MHz、基片自由端在y轴方向偏移的距离h为1500μm时,当Cu层宽度为0.4mm时,应力阻抗效应达-25%左右。
- 陈吉安张亚民赵晓昱周勇周志敏王明军高孝裕
- 关键词：微细加工
- FeCuNbCrSiB薄膜的制备及其巨磁阻抗效应研究被引量：1
- 2005年
- 采用磁控溅射方法,在玻璃基片上制备了非晶的Fe73.5Cu1Nb3Cr0.5Si13B9薄膜及三明治结构M/C/M(M为Fe73.5Cu1Nb3Cr0.5Si13B9;C为Cu)的多层膜.在频率(1～40)MHz下,研究了薄膜材料的巨磁阻抗(GMI)效应随外加磁场的变化关系.结果表明:单层膜的GMI效应较小,只有4.4%;而三明治结构多层膜的GMI效应,比单层膜有较大幅度的提高,在5MHz、120Oe下,纵向和横向GMI效应分别达-17.4%和-20.7%.薄膜材料的纵向GMI效应随外加磁场变化呈现先增后减,而横向GMI效应随外加磁场的增加而单调递减,其变化规律与薄膜的易轴取向有很大关系.
- 张亚民陈吉安周勇丁文王明军高孝裕
- 关键词：电子技术巨磁阻抗效应
- 金属薄膜微桥的制造方法及其力学特性测试方法
- 一种金属薄膜微桥的制造方法及其力学特性测试方法，用于薄膜技术领域。制造方法如下：首先采用光刻和刻蚀形成光刻对准符号和硅刻蚀窗口，套刻符号作为曝光时双面对准符号，保证套刻精度，然后采用溅射方法制备底层，通过光刻在硅片上形成...
- 周勇杨春生陈吉安丁桂甫王明军
- 文献传递
- 基于罗德里格斯参数的星敏感器几何线性姿态确定方法
- 一种基于罗德里格斯参数的星敏感器几何线性姿态确定方法，该方法基于姿态旋转几何分析，建立参考矢量、方位矢量、姿态参数之间的线性投影关系，通过优化的误差评估准则获得最小估计误差下的姿态估计结果，并进一步采用预旋转方法消除计算...
- 龚德仁叶国宇陈吉安段登平
- 一种新型电流变减振器的原理设计及其性能模拟被引量：2
- 1997年
- 简要介绍了电流变流体──一种在振动控制领域极具应用前景的先进复合材料的基本概念及其典型特性，并在此基础上提出了一种新型电流变减振器的原理设计。最后，针对这种减振器的结构特点给出了它的力学模型及其性能分析。
- 陈吉安冷劲松王殿富杜善义
- 关键词：电流变流体电流变减振器阻尼力
- 管带式车用散热器散热特性的试验研究被引量：10
- 2000年
- 应用正交试验优化技术对管带式车用散热器的散热特性进行了试验研究 ,并对试验结果进行了回归分析 ,得到了描述散热器散热量、风阻及水阻与散热器冷却水入口温度、水流量及冷却风速之间关系的回归方程。
- 陈吉安王登峰郑联珠彭巧励吕伟
- 关键词：车用散热器优化设计风阻力水阻力
- 基于微机电系统的巨磁阻抗效应磁敏器件的制作方法
- 一种基于微机电系统的巨磁阻抗效应磁敏器件的制作方法。属于传感器技术领域。本发明采用微机电系统(MEMS)技术，对双面氧化的硅片进行处理，得到双面套刻对准符号，以便曝光时提高对准精度；采用准－LIGA光刻技术和微电镀技术制...
- 周勇丁文曹莹陈吉安周志敏
- 文献传递
