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孙德明
作品数:
2
被引量:4
H指数:1
供职机构:
复旦大学材料科学系
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相关领域:
电子电信
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合作作者
肖梦秋
复旦大学材料科学系
汪荣昌
复旦大学材料科学系
戎瑞芬
复旦大学材料科学系
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Pt/TiO2二极管湿敏传感器
1998年
Pt常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触。在常温下,Pt/TiO2界面处的电子电导对Pt/TiO2肖特基势垒高度的变化非常敏感。本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能,并讨论了因水在Pt/TiO2界面处的化学吸附,引起表面Fermi能级改变,影响Pt/TiO2肖特基势垒的高度,从而导致了I-V曲线变化的物理过程,对器件制造过程中的工艺问题也有所论述。
孙德明
肖梦秋
汪荣昌
戎瑞芬
关键词:
湿敏传感器
肖特基势垒
Pt/TiO_2二极管湿敏传感器
被引量:4
1999年
Pt常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触 .在常温下 ,Pt/ Ti O2 界面处的电子电导对 Pt/ Ti O2 肖特基势垒高度的变化非常敏感 .本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能 ,并讨论了因水在 Pt/ Ti O2 界面处的化学吸附 ,引起表面态费米能级改变 ,影响 Pt/Ti O2 肖特基势垒的高度 ,从而导致了 I- V曲线的变化的物理过程 。
孙德明
肖梦秋
汪荣昌
戎瑞芬
关键词:
二极管
湿敏传感器
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