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齐丽芳

作品数:11 被引量:7H指数:2
供职机构:中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文基金:国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域:电子电信更多>>

文献类型

  • 8篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 9篇探测器
  • 7篇单片
  • 7篇单片集成
  • 6篇红外
  • 6篇红外探测
  • 6篇红外探测器
  • 4篇量子阱红外探...
  • 4篇金属互连
  • 4篇互连
  • 3篇双色探测器
  • 3篇热释电
  • 2篇带隙
  • 2篇多孔
  • 2篇多孔二氧化硅
  • 2篇氧化钒
  • 2篇氧化硅
  • 2篇商用
  • 2篇商用化
  • 2篇平面化
  • 2篇热释电红外

机构

  • 10篇中国电子科技...
  • 1篇电子科技大学
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 11篇齐丽芳
  • 11篇李献杰
  • 9篇蔡道民
  • 9篇赵永林
  • 5篇尹顺政
  • 4篇曾庆明
  • 2篇尹顺正
  • 1篇张万里
  • 1篇李言荣
  • 1篇吴传贵

传媒

  • 1篇红外与激光工...
  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2010
  • 3篇2009
  • 3篇2008
  • 2篇2007
11 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
单片集成非制冷红外/紫外双色探测器及其制造方法
本发明公开了一种单片集成非制冷红外/紫外双色探测器及其制造方法,属于光电探测器领域,它包括衬底,其紫外敏感薄膜结构与红外敏感薄膜结构集成在同一衬底材料上,从衬底向上依次为缓冲层、紫外敏感层、隔离层、红外探测结构;本发明在...
李献杰赵永林蔡道民齐丽芳曾庆明李言荣吴传贵张万里
文献传递
波导光探测器和异质结双极性晶体管的单片集成方法
本发明属光电技术领域,具体涉及一种波导光探测器和异质结双极性晶体管的单片集成方法,该方法通过在HBT外延材料结构上,利用Zn扩散工艺将HBT发射极区N型材料转变为P型材料,使其成为波导光探测器的上包层,同时实现PN结功能...
蔡道民李献杰赵永林齐丽芳曾庆明尹顺正
文献传递
GaN/BST单片集成紫外红外双色探测器的研制被引量:4
2008年
采用金属有机物化学气相淀积(MOCVD)在蓝宝石上生长宽带隙半导体GaN和磁控溅射BST热释电薄膜,实现了一种单片集成紫外红外双色探测器。紫外探测部分采用GaN系金属-半导体-金属(MSM)器件结构,红外探测采用钛酸锶钡(BST)热释电电容结构,二者用多孔SiO2实现热隔离。制作了紫外红外双色集成探测器测试单元和1×32和1×64线列线列器件。测试单元器件紫外和红外有源区面积均为500μm×500μm,紫外探测部分峰值波长360nm,截止波长370nm,响应度0.08A/W;BST薄膜热释电系数为1×10-6C.cm-2K-1,红外热释电探测部分电压响应率为9.14V/W,黑体探测率D为4.37×105cm.Hz1/2.W-1。
李献杰赵永林齐丽芳尹顺政蔡道民吴传贵张万里李言荣
关键词:紫外双色探测器热释电钛酸锶钡
平面化热绝缘结构的热释电红外探测器的制备方法
本发明公开了一种平面化热绝缘结构的热释电红外探测器的制备方法,其包括衬底和热绝缘结构,所述的热绝缘结构是在硅或蓝宝石衬底上刻蚀有探测器下电极对应图形的深槽,在深槽内沉积有多孔二氧化硅层,在多孔二氧化硅层和衬底上淀积有二氧...
赵永林李献杰齐丽芳蔡道民尹顺政
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一种用于量子阱红外探测器的交叉组合式双周期光栅
本发明公开了一种用于量子阱红外探测器的交叉组合式双周期光栅。本发明采用两种尺寸的光栅交叉排列来响应两个波段,获取两个波段的信息。交叉排列使得这种新型光栅在整个面上的响应均匀性很好,且两种光栅的分布位置是类似“品”字状,使...
齐丽芳李献杰赵永林尹顺政蔡道民
文献传递
一种用于量子阱红外探测器的交叉组合式双周期光栅
本发明公开了一种用于量子阱红外探测器的交叉组合式双周期光栅。本发明采用两种尺寸的光栅交叉排列来响应两个波段,获取两个波段的信息。交叉排列使得这种新型光栅在整个面上的响应均匀性很好,且两种光栅的分布位置是类似“品”字状,使...
齐丽芳李献杰赵永林尹顺政蔡道民
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量子阱红外探测器焦平面阵列的商业化进程被引量:3
2007年
从量子阱红外焦平面探测器(QWIP)产品商业化入手,介绍了各国量子阱红外焦平面探测器及相关产品的商用化情况,并讨论了量子阱红外焦平面阵列和相关QWIP产品在武器装备、工业控制、医疗等方面的应用;最后探讨了国内QWiP技术的研发现状和商业化进程.
李献杰齐丽芳
关键词:量子阱红外焦平面探测器商用化热像仪
波导光探测器和异质结双极性晶体管的单片集成方法
本发明属光电技术领域,具体涉及一种波导光探测器和异质结双极性晶体管的单片集成方法,该方法通过在HBT外延材料结构上,利用Zn扩散工艺将HBT发射极区N型材料转变为P型材料,使其成为波导光探测器的上包层,同时实现PN结功能...
蔡道民李献杰赵永林齐丽芳曾庆明尹顺正
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单片集成非制冷红外/紫外双色探测器
本发明公开了一种单片集成非制冷红外/紫外双色探测器,属于光电探测器领域,它包括衬底,其紫外敏感薄膜结构与红外敏感薄膜结构集成在同一衬底材料上,从衬底向上依次为缓冲层、紫外敏感层、隔离层、红外探测结构;本发明在同一衬底上生...
李献杰赵永林蔡道民齐丽芳曾庆明李言荣吴传贵张万里
文献传递
量子阱红外探测器焦平面阵列的商业化进程
从量子阱红外焦平面探测器(QWIP)产品商业化入手,介绍了各国量子阱红外焦平面探测器及相关产品的商用化情况,并讨论了量子阱红外焦平面阵列和相关 QWIP 产品在武器装备、工业控制、医疗等方面的应用;最后探讨了国内 QWI...
李献杰齐丽芳
关键词:量子阱红外焦平面探测器商用化热像仪
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共2页<12>
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