您的位置： 专家智库 > >

黄恩泽

作品数：18 被引量：0H指数：0
供职机构：西安交通大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术理学一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 17篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 5篇自动化与计算...
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇理学

主题

  • 14篇感器
  • 14篇传感
  • 14篇传感器
  • 7篇悬臂
  • 7篇悬臂梁
  • 7篇流体
  • 7篇流体密度
  • 6篇芯片
  • 6篇密度传感器
  • 6篇传感器芯片
  • 4篇封装
  • 3篇单晶
  • 3篇单晶硅
  • 3篇氧化硅薄膜
  • 3篇硅薄膜
  • 3篇二氧化硅薄膜
  • 3篇MEMS
  • 2篇电场
  • 2篇电场强度
  • 2篇电隔离

机构

  • 18篇西安交通大学

作者

  • 18篇黄恩泽
  • 17篇赵立波
  • 17篇蒋庄德
  • 15篇张桂铭
  • 11篇赵玉龙
  • 11篇刘志刚
  • 9篇王晓坡
  • 5篇李支康
  • 4篇徐龙起
  • 4篇苑国英
  • 4篇郭鑫
  • 2篇宋渤

年份

  • 4篇2014
  • 2篇2013
  • 8篇2012
  • 3篇2011
  • 1篇2010
共 18 条 记 录，以下是 1-10
全选 清除 导出
排序方式：
一种基于晶圆键合技术的黏度传感器芯片及其制备方法
本发明提供了一种基于晶圆键合技术的黏度传感器芯片及其制备方法，本发明所述芯片的硅微悬臂梁厚度具有易控制的特点，同时，由该芯片封装而成的传感器可以应用在高温场合下，整套工艺流程避免了SOI硅片的使用，降低了芯片制造成本；该...
赵立波张桂铭黄恩泽蒋庄德王晓坡刘志刚
文献传递
一种采用压阻式微悬臂梁在线快速测量流体密度的方法
本发明提供了一种采用压阻式微悬臂梁在线快速测量流体密度的方法，本发明不需要改变现有的装置即可实现在线测量；另外更重要的是，不需要获得悬臂梁在待测流体中的谐振频率，从而极大地节省了测量时间，为真正的在线和快速测量提供了保证...
赵立波张桂铭蒋庄德黄恩泽徐龙起赵玉龙王晓坡宋渤刘志刚
文献传递
一种复合式MEMS密度传感器
本发明提供了一种复合式MEMS密度传感器，包括驱动芯片和设置于驱动芯片上的悬臂梁芯片；所述悬臂梁芯片上布置有方形螺旋线圈和惠斯通全桥；所述驱动芯片上布置有圆形螺旋线圈；圆形螺旋线圈的中心与方形螺旋线圈的中心相对。通过施加...
赵立波徐龙起黄恩泽张桂铭赵玉龙蒋庄德
一种基于注氧隔离技术的黏度传感器芯片的制备方法
本发明提供了一种基于注氧隔离技术的黏度传感器芯片的制备方法，本发明所述芯片的硅微悬臂梁厚度具有易控制以及均匀一致性的特点，并且解决了拾振电阻压阻效应较低的问题，同时，由该芯片封装而成的传感器可以应用在高温场合下；该MEM...
赵立波张桂铭黄恩泽蒋庄德王晓坡刘志刚
文献传递
基于微机电系统技术的密度传感器芯片及其制备方法
本发明公开一种基于微机电系统技术的悬臂梁式密度传感器芯片及其制备方法，所述芯片为采用基于振动原理的梯形硅微悬臂梁结构，引线采用钛-铂-金梁式引线，增设钛-铂-金梁式飞线，采用梯形结构具有高灵敏度的优点，采用钛-铂-金梁式...
赵立波黄恩泽蒋庄德刘志刚
文献传递
一种用于痕量生化物质检测的CMUT及其制备方法
本发明提供了一种用于痕量生化物质检测的CMUT及其制备方法，CMUT结构自上而下依次包括敏感识别材料层、作为上电极的重掺杂单晶硅层、二氧化硅绝缘层，以及二氧化硅支柱，所述二氧化硅支柱的中间部分形成有空腔，该空腔的下端被作...
赵立波李支康蒋庄德郭鑫张桂铭黄恩泽赵玉龙苑国英
文献传递
基于MEMS技术的同时测量流体密度、压力和温度的集成流体传感器
本发明提供了一种基于MEMS技术的同时测量流体密度、压力和温度的集成流体传感器，包括配置有空腔的基座，基座内壁设置有永磁体，集成传感器芯片与玻璃底座封装在一起后封装在基座底部，所述基座底部开设有供流体流入流出的通液孔，所...
赵立波黄恩泽张桂铭赵玉龙蒋庄德苑国英王晓坡刘志刚
文献传递
一种基于CMUT的生化传感器及其制备方法
本发明提供了一种基于CMUT的生化传感器及其制备方法，传感器自上而下依次包括：敏感识别材料层、上电极、二氧化硅薄膜、硅支柱、下电极、二氧化硅绝缘层、硅基底。本发明金属下电极与硅基底完全电隔离，取代常规基于CMUT的生化传...
赵立波李支康蒋庄德张桂铭黄恩泽郭鑫赵玉龙
文献传递
具有双惠斯通全桥结构的MEMS流体密度传感器芯片及制备方法
本发明提供了一种具有双惠斯通全桥结构的MEMS流体密度传感器芯片及制备方法，在梯形硅微悬臂梁芯片正面设置于两个关于梯形硅微悬臂梁芯片中心线对称的惠斯通全桥，其中一个惠斯通全桥位于梯形硅微悬臂梁芯片的固定端，另一个惠斯通全...
赵立波黄恩泽张桂铭蒋庄德王晓坡刘志刚
文献传递
一种复合式MEMS密度传感器
本发明提供了一种复合式MEMS密度传感器，包括驱动芯片和设置于驱动芯片上的悬臂梁芯片；所述悬臂梁芯片上布置有方形螺旋线圈和惠斯通全桥；所述驱动芯片上布置有圆形螺旋线圈；圆形螺旋线圈的中心与方形螺旋线圈的中心相对。通过施加...
赵立波徐龙起黄恩泽张桂铭赵玉龙蒋庄德
文献传递
全选 清除 导出
共2页<12>
聚类工具0