2024年11月28日
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范叶
作品数:
18
被引量:3
H指数:1
供职机构:
电子科技大学
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发文基金:
中国博士后科学基金
教育部“新世纪优秀人才支持计划”
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
罗小蓉
电子科技大学微电子与固体电子学...
周坤
电子科技大学微电子与固体电子学...
蔡金勇
电子科技大学微电子与固体电子学...
范远航
电子科技大学微电子与固体电子学...
罗尹春
电子科技大学微电子与固体电子学...
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一种槽型半导体功率器件
本发明公开了一种槽型半导体功率器件,涉及槽型半导体功率器件技术领域,包括衬底层和有源层,所述有源层中形成有槽栅,槽栅纵向至少伸入到有源层中;在体接触区和漏区之间形成有阶梯型的介质槽,阶梯型的介质槽宽度较大的那一端更接近衬...
罗小蓉
王沛
范叶
蔡金勇
王琦
蒋永恒
周坤
王骁玮
范远航
魏杰
罗尹春
文献传递
一种横向SOI功率器件
本发明公开了一种横向SOI功率器件,包括半导体衬底,绝缘介质层和半导体有源层,在半导体有源层表面具有体区和漏区,体区和漏区之间有间距,形成器件的漂移区,在体区表面依次形成体接触区和源区,在绝缘介质层上设置有硅窗口,体区的...
罗小蓉
蒋永恒
罗尹春
范远航
范叶
王骁玮
蔡金勇
张波
文献传递
一种横向SOI功率半导体器件
一种横向SOI功率半导体器件,属于功率半导体器件技术领域。器件元胞结构包括衬底、绝缘介质层及绝缘介质层上方的器件有源层,器件有源层包括源区、漏区、栅和漂移区;其中源区和漏区之间的漂移区由两个平行于器件横向方向的第一半导体...
罗小蓉
王骁玮
范叶
范远航
尹超
魏杰
蔡金勇
周坤
张彦辉
张波
李肇基
文献传递
一种槽型半导体功率器件
本发明公开了一种槽型半导体功率器件,涉及槽型半导体功率器件技术领域,包括衬底层和有源层,所述有源层中形成有槽栅,槽栅纵向至少伸入到有源层中;在体接触区和漏区之间形成有阶梯型的介质槽,阶梯型的介质槽宽度较大的那一端更接近衬...
罗小蓉
王沛
范叶
蔡金勇
王琦
蒋永恒
周坤
王骁玮
范远航
魏杰
罗尹春
文献传递
一种横向SOI功率半导体器件
一种横向SOI功率半导体器件,属于功率半导体器件技术领域。器件元胞结构包括衬底、绝缘介质层及绝缘介质层上方的器件有源层,器件有源层包括源区、漏区、栅和漂移区;其中源区和漏区之间的漂移区由两个平行于器件横向方向的第一半导体...
罗小蓉
王骁玮
范叶
范远航
尹超
魏杰
蔡金勇
周坤
张彦辉
张波
李肇基
文献传递
槽栅半导体功率器件
本发明涉及半导体技术。本发明解决了现有半导体器件在介质槽相对大间距、小密度情况下无法发挥高K介质作用问题,提供了一种槽栅半导体功率器件,其技术方案可概括为:槽栅半导体功率器件,其在半导体漂移区左右两侧增加了两个高K介质区...
罗小蓉
蒋永恒
蔡金勇
范叶
王沛
王骁伟
周坤
王琦
罗尹春
张波
文献传递
纵向功率半导体器件的制造方法
本发明涉及半导体技术。本发明解决了现有具有槽栅超结的半导体功率器件的制造工艺难度较大的问题,提供了一种纵向功率半导体器件的制造方法,其技术方案可概括为:首先外延形成第一半导体区,在其顶部生长氧化层及淀积掩蔽层,并进行光刻...
罗小蓉
周坤
范叶
范远航
蒋永恒
王沛
王骁玮
罗尹春
蔡金勇
张波
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一种槽型半导体功率器件的制造方法
本发明公开了一种槽型半导体功率器件的制造方法,涉及半导体功率器件技术领域,通过刻蚀槽、采用各向异性外延技术生长填充槽形成第二半导体区、在第二半导体区顶部局部刻蚀形成窄且高浓度的n或p柱、填充绝缘介质以及平坦化,之后采用外...
罗小蓉
王沛
蔡金勇
范叶
王琦
蒋永恒
周坤
魏杰
罗尹春
范远航
王骁伟
槽型低阻SOI横向功率器件研究与设计
SOI(Silicon On Insulator)横向功率 MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field-Effect Transistor)是功率集成电路的核心器件,实现高压和低阻是功率...
范叶
关键词:
数值仿真
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一种SOI基PMOSFET功率器件
一种SOI基PMOSFET功率器件,属于功率半导体器件技术领域。本发明提供的SOI基PMOSFET功率器件采用N型SOI基,便于和N沟道功率器件相集成;同时,其漂移区是在SOI基的N型SOI半导体层表面注入P型阱区所形成...
罗小蓉
罗尹春
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范叶
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