王毛翠
- 作品数：5 被引量：8H指数：1
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术理学更多>>
- 石英音叉扫描探针显微镜被引量：7
- 2012年
- 石英音叉是一种谐振频率稳定、品质因数高的时基器件,其音叉臂的谐振参数(谐振振幅和谐振频率)对微力极其敏感。利用石英音叉对外力的敏感性,与钨探针结合,构成一种新型的表面形貌扫描测头。该测头与xyz压电工作台结合,利用测头音叉臂谐振频率对扫描微力的敏感性,研制基于相位反馈控制的扫描探针显微镜。首先介绍石英音叉测头的构成、工作原理和特性测试,以及由该测头构建的扫描探针显微镜的结构和测试、分析。通过对测头和系统的测试结果分析,系统达到1.2 nm的垂直分辨率,并通过对一维栅的测量,给出扫描获得的试样表面微观形貌图以及相位图,证明系统的有效性。另外,由于采用大长径比的钨探针,该系统具有测量大深宽比微器件表面轮廓的能力。
- 黄强先王毛翠赵剑王广红余惠娟
- 关键词：石英音叉扫描探针显微镜
- 基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法
- 本发明公开了一种基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法，其特征是：采用石英音叉作为微力传感器，石英音叉的一个音叉臂上固定压电驱动器，另一个音叉臂上固定压电传感器；石英音叉在Z方向上的振动方向与试样表面垂直，...
- 黄强先王毛翠张昔峰黄帅赵剑王广红
- 基于石英音叉测头的三维纳米测量与定位实验研究
- 近年来，微细加工技术快速发展使得产品的导向趋于微型化，出现各种微型机械和MEMS器件。这些微型机械的几何特征尺寸在数十微米至数毫米之间、尺寸精度在数十纳米至数百纳米。受限于测球尺寸和测头系统的性能，传统三坐标测量机无法满...
- 王毛翠
- 关键词：显微镜系统
- 基于石英音叉的三维谐振触发测头
- 本实用新型公开了一种基于石英音叉的三维谐振触发测头，其特征是：采用石英音叉作为微力传感器，石英音叉的一个音叉臂上固定压电驱动器，另一个音叉臂上固定压电传感器；石英音叉在Z方向上的振动方向与试样表面垂直，在X、Y方向上的振...
- 黄强先王毛翠张昔峰黄帅赵剑王广红
- 文献传递
- 基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法
- 本发明公开了一种基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法，其特征是：采用石英音叉作为微力传感器，石英音叉的一个音叉臂上固定压电驱动器，另一个音叉臂上固定压电传感器；石英音叉在Z方向上的振动方向与试样表面垂直，...
- 黄强先王毛翠张昔峰黄帅赵剑王广红
- 文献传递
