王广红
- 作品数：7 被引量：9H指数：2
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信金属学及工艺更多>>
- 基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法
- 本发明公开了一种基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法，其特征是：采用石英音叉作为微力传感器，石英音叉的一个音叉臂上固定压电驱动器，另一个音叉臂上固定压电传感器；石英音叉在Z方向上的振动方向与试样表面垂直，...
- 黄强先王毛翠张昔峰黄帅赵剑王广红
- 基于石英音叉的纳米测头及试样表面微观形貌测量方法
- 本发明公开了一种基于石英音叉的纳米测头，其特征是：采用石英音叉作为探测试样微观形貌的微力传感器，在石英音叉的一个音叉臂上固定有压电驱动器，在另一个音叉臂上固定有压电传感器；设置石英音叉的振动方向与试样表面垂直，在靠近试样...
- 黄强先王广红万耿华刘小为倪康
- 文献传递
- 石英音叉扫描探针显微镜被引量：7
- 2012年
- 石英音叉是一种谐振频率稳定、品质因数高的时基器件,其音叉臂的谐振参数(谐振振幅和谐振频率)对微力极其敏感。利用石英音叉对外力的敏感性,与钨探针结合,构成一种新型的表面形貌扫描测头。该测头与xyz压电工作台结合,利用测头音叉臂谐振频率对扫描微力的敏感性,研制基于相位反馈控制的扫描探针显微镜。首先介绍石英音叉测头的构成、工作原理和特性测试,以及由该测头构建的扫描探针显微镜的结构和测试、分析。通过对测头和系统的测试结果分析,系统达到1.2 nm的垂直分辨率,并通过对一维栅的测量,给出扫描获得的试样表面微观形貌图以及相位图,证明系统的有效性。另外,由于采用大长径比的钨探针,该系统具有测量大深宽比微器件表面轮廓的能力。
- 黄强先王毛翠赵剑王广红余惠娟
- 关键词：石英音叉扫描探针显微镜
- 基于压电微音叉的扫描探针显微镜系统研究
- 扫描探针显微镜(SPM)在微机电学、化学和生物医学等方面有着广泛的应用前景。本文研究了一种由压电微音叉作为测头的扫描探针显微镜系统。
本文完成的工作主要有以下几个部分：扫描探针显微镜测头方面，文中介绍了系统测头构成...
- 王广红
- 关键词：扫描探针显微镜锁相环相位图
- 文献传递
- 基于相位反馈控制的压电微音叉扫描探针显微镜被引量：2
- 2010年
- 压电微音叉具有谐振频率稳定、品质因数高和易于实现音叉臂的振动检测等优点。利用微音叉的这些特性,将其与钨探针结合,构成了压电微音叉扫描探针显微镜(SPM)测头,可实现对微观表面的测量。该测头扫描时,压电微音叉的谐振频率被试样表面原子和钨探针尖端原子间的作用力调制。探针的谐振状态通过锁相环路(PLL)实现,微音叉测头与试样间的恒定测力及测头的Z向定位通过相位反馈控制实现。此外,测量系统可同时获得试样表面的微观轮廓图和相位图。
- 黄强先王广红万耿华倪康
- 关键词：锁相环路扫描探针显微镜
- 基于石英音叉的三维谐振触发测头
- 本实用新型公开了一种基于石英音叉的三维谐振触发测头，其特征是：采用石英音叉作为微力传感器，石英音叉的一个音叉臂上固定压电驱动器，另一个音叉臂上固定压电传感器；石英音叉在Z方向上的振动方向与试样表面垂直，在X、Y方向上的振...
- 黄强先王毛翠张昔峰黄帅赵剑王广红
- 文献传递
- 基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法
- 本发明公开了一种基于石英音叉的三维谐振触发测头及三维谐振触发定位方法，其特征是：采用石英音叉作为微力传感器，石英音叉的一个音叉臂上固定压电驱动器，另一个音叉臂上固定压电传感器；石英音叉在Z方向上的振动方向与试样表面垂直，...
- 黄强先王毛翠张昔峰黄帅赵剑王广红
- 文献传递
