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王晓丹

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：景德镇陶瓷学院材料科学与工程学院更多>>
发文基金：江西省自然科学基金更多>>
相关领域：金属学及工艺电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇电化学抛光
  • 2篇阳极
  • 2篇阳极溶解
  • 2篇抛光
  • 2篇微细
  • 2篇微细加工
  • 2篇化学抛光
  • 1篇P-SI

机构

  • 2篇景德镇陶瓷学...

作者

  • 2篇胡跃辉
  • 2篇胡飞
  • 2篇王晓丹
  • 2篇李小红

传媒

  • 1篇材料热处理学...

年份

  • 2篇2011
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
p-Si在氢氟酸溶液中的电化学抛光
p-Si薄膜在氢氟酸溶液中的电化学抛光是通过阳极溶解降低薄膜表面粗糙度.本文用线性扫描研究了在不同的氧氟酸浓度下的电化学行为,发现随氢氟酸溶液浓度的增加阳极溶解速率也随之增加.当氢氟酸浓度为4％及6％时,可得到平整的表面...
胡飞王晓丹李小红胡跃辉
关键词：电化学抛光阳极溶解微细加工
p-Si薄膜在氢氟酸溶液中的电化学抛光被引量：1
2011年
p-Si薄膜在氢氟酸溶液中的电化学抛光是通过阳极溶解降低薄膜表面粗糙度。本文用线性扫描研究了在不同的氢氟酸浓度下的电化学行为,发现随氢氟酸溶液浓度的增加阳极溶解速率也随之增加。当氢氟酸浓度为4%及6%时,可得到平整的表面。电化学抛光技术为制备光亮硅面提供了一种简单可行的方法。
胡飞王晓丹李小红胡跃辉
关键词：电化学抛光阳极溶解微细加工
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