梁柱
- 作品数：5 被引量：0H指数：0
- 供职机构：电子科技大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 多元氧化物电子薄膜材料的单胞生长模式与界面应力诱导效应的研究
- 2006年
- 多元氧化物薄膜,特别是ABO_3钙钛矿结构的薄膜由于有铁电、压电、热释电和超导等特性和在多功能电子器件上的广泛应用而成为电子功能材料研究的热点．该文利用激光分子束外延和磁控溅射等薄膜制备技术,采用反射式高能电子衍射(RHEED)对薄膜的生长进行原位实时的检测分析,确定了在不同的工艺条件下氧化物薄膜的层状、层岛混合和岛状生长模式。优化了薄膜的生长条件,实现了对薄膜生长模式的有效控制,绘制出SrTiO_3、BaTiO_3等薄膜的生长模式图谱。测量计算了薄膜的表面活化能和沉积粒子在表面的有效扩散率,发现氧化物薄膜表面的生长运动单元具有活化能小、迁移时间长等重要特点,采用原子力显微镜(AFM)和掠入射XRD对层状生长薄膜的层厚结构进行了精细测量,提出了氧化物薄膜单胞生长动力学模型,即薄膜生长的主要单元是以B-O八面体为主体的单原胞基团．在此基础上,系统地研究了薄膜生长异质界面应力释放行为和对结构性能的影响,在小失配度、中等失配度和大失配度下体现出的不同生长规律,出现了在临界厚度下的相干外延、应变岛、双晶外延和近重位点阵等现象．最后,通过薄膜和衬底的失配度的选择来调整界面应力的影响,并通过工艺条件来诱导薄膜结构取向,如采用薄膜自外延技术和自缓冲层技术,有效地控制和大幅度改善了铁电薄膜、介电薄膜、超导薄膜和热释电薄膜的微结构和电磁性能。
- 李言荣朱俊张鹰李金隆魏贤华梁柱张万里吴传贵刘兴钊陶伯万
- 关键词：氧化物薄膜单胞
- 用于Si基片上外延BST薄膜的缓冲层的研究进展
- 2005年
- 由于界面之间的扩散,很难取得在 Si 基片上 BST 薄膜的外延。在这种异质结之间,稳定的缓冲层起着良好的阻挡作用以及结构上的延伸功能。综述了用于外延 BST 薄膜的缓冲层材料的意义和要求,及国内外通过缓冲层来控制界面以及薄膜的外延取向而获得高质量薄膜的最新研究动态,展望了今后用于外延 BST 薄膜的缓冲层材料发展的趋势。
- 魏贤华张鹰梁柱黄文李言荣
- 关键词：BST薄膜缓冲层基片SI异质结
- 钛酸锶单晶基片上外延生长氧化镁纳米线的方法
- 钛酸锶单晶基片上外延生长氧化镁纳米线的方法，涉及微电子材料领域，特别涉及应用于氧化物(氧化镁)－复合氧化物(钛酸锶)异质外延中纳米线及其表面周期结构的制备方法。本发明提供的方法制备得到的材料具有优越的电学、光学、力学和热...
- 梁柱李言荣朱俊张鹰
- 文献传递
- 氧化物异质外延过程中应变研究
- 氧化物薄膜由于其丰富的物理性质可广泛地被应用于微电子学、光电子学和微电子机械系统等领域，对其制备工艺和生长控制的研究愈加受到重视。本论文基于激光分子束外延的基本原理，以高能电子反射为主要监测工具，对氧化物薄膜特别是铁电氧...
- 梁柱
- 关键词：氧化物薄膜反射高能电子衍射
- 钛酸锶单晶基片上外延生长氧化镁纳米薄膜的方法
- 钛酸锶单晶基片上外延生长氧化镁纳米线的方法，涉及微电子材料领域，特别涉及应用于氧化物(氧化镁)-复合氧化物(钛酸锶)异质外延中纳米线及其表面周期结构的制备方法。本发明提供的方法制备得到的材料具有优越的电学、光学、力学和热...
- 梁柱李言荣朱俊张鹰
- 文献传递
