高飞
- 作品数：4 被引量：21H指数：2
- 供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：核科学技术机械工程理学一般工业技术更多>>
- 大型离子束刻蚀机工作台扫描基准和台面热载的有限元分析
- 本文介绍了用有限元法分析计算大型离子束刻蚀机的工作台扫描基准(真空室)的形变和工作台面的热载及受热形变,选择了合理的设计方案和补偿措施.
- 高飞董晓浩黄志刚赵飞云徐朝银
- 关键词：离子束刻蚀机有限元法结构应力热应力
- 文献传递
- KZ-400离子束刻蚀装置设计中的若干真空问题被引量：2
- 2005年
- 本文解决了KZ-400离子束刻蚀装置设计中遇到的若干真空问题。通过抽速计算选择了合理的真空配置;用有限元分析软件ANSYS计算了真空室的受压形变,优化了真空室的结构,采取了合理的误差补偿措施;并通过摩擦润滑试验和质谱分析检测了二硫化钼润滑剂的真空润滑性能,解决了工作台扫描运动的有效润滑。
- 高飞董晓浩赵飞云凤良杰徐朝银
- 关键词：有限元分析润滑剂质谱分析
- NSRL-XAFS光束线弧矢聚焦双晶单色器设计被引量：4
- 2006年
- 针对XAFS光束线能量动态扫描的实验特点,介绍了弧矢聚焦双晶单色器的物理设计:包括晶体光学结构、性能参数计算、晶体热载分析和弧矢弯曲原理.弧矢缩比选择为1∶4.88,水平接收角由原来的1 mrad拓宽到3 mrad,在不改变基本配置的情况下,获得了样品上束斑缩小、光子通量高达半个量级以上的增益.
- 凤良杰董晓浩高飞康乐赵飞云徐朝银
- 关键词：光束线能量分辨率
- X射线衍射和散射光束线环面聚焦镜的面形精度与像差分析被引量：15
- 2004年
- 介绍了用于NSRL的X射线衍射和散射光束线中环面聚焦镜的成像原理和基本结构,分析计算了各种像差和面形精度对成像质量的影响,重点描述了镜子因受力弯曲在子午方向的曲率变化与理论值的误差以及反射表面受同步辐射光照射而产生的热载变形,进而求得实验样品上束斑成像的高度。最后用CCD探测实际光斑的尺寸,结果表明:理论计算与实测数据非常吻合。
- 黄志刚董晓浩高飞徐朝银
- 关键词：面形误差像差X射线衍射面形精度
