董晓浩
- 作品数：11 被引量：35H指数：4
- 供职机构：中国科学技术大学核科学技术学院国家同步辐射实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：核科学技术机械工程理学一般工业技术更多>>
- 弧矢压弯晶体的力学性能与形位误差分析被引量：3
- 2007年
- 介绍了利用柔性铰链机构对弧矢聚焦双晶单色器中第二晶体进行动态压弯的工作原理，优化了压弯机构和晶体的几何参数，然后应用有限元方法模拟分析压弯装置与晶体的力学性质，最后分析了弯晶的形位误差并计算因此造成的弯晶光束入射角的变化。分析结果表明：替换后单色器的水平接收角由1mrad增加到3mrad，样品上光斑的水平半高宽由12．5mm减小到2．5mm。优化后晶体因压弯产生的鞍形曲率半径约为弧矢曲率半径的1700倍，造成的入射角误差为2．2μrad；压弯装置上的最大平均应力约为800MPa，并由此确定了以铍青铜作为压弯机构的材料，晶体的曲率半径为0．57～1．72m和驱动力为8～2．67N时的线性关系。分析结果表明：该单色器的设计完全达到了设计指标，在提高光子通量和光子密度的同时又能满足XAFS光束线测量过程中需要频繁快速扫描的要求。
- 凤良杰董晓浩康乐徐朝银
- 关键词：双晶单色器柔性铰链形位误差
- 大型离子束刻蚀机工作台扫描基准和台面热载的有限元分析
- 本文介绍了用有限元法分析计算大型离子束刻蚀机的工作台扫描基准(真空室)的形变和工作台面的热载及受热形变,选择了合理的设计方案和补偿措施.
- 高飞董晓浩黄志刚赵飞云徐朝银
- 关键词：离子束刻蚀机有限元法结构应力热应力
- 文献传递
- 曲面切槽晶体单色器设计被引量：1
- 2007年
- 讨论了曲面切槽单色器的工作原理,并依据合肥光源上的XAFS光学参数,设计加工出晶体的切槽曲面,测量了曲面的形位误差,进而分析了曲面加工、定位误差以及入射光的束宽对单色器分光性能的影响.在测量所得的加工误差下,考虑由于束流宽束给衍射性能造成的影响,计算了实际晶体相对于理想晶体的理论衍射效率.计算结果证明该晶体单色器完全适用于合肥光源的XAFS光学系统.
- 康乐董晓浩凤良杰李中亮赵飞云徐朝银
- 关键词：晶体单色器
- 条形射频源大口径离子束刻蚀机性能(英文)被引量：2
- 2007年
- 针对大尺寸基底往复扫描条形离子束来实现大面积刻蚀的特点,实验测试了基于射频感应耦合等离子体离子源大型离子束刻蚀机的性能.利用法拉第筒扫描探测系统在线测量束流密度,通过控制气体流量、调节加速电压等,得到了纵向束流密度±5.3%均匀性的较好结果.刻蚀实验表明40 cm长度范围刻蚀深度均匀性为±5.4%,同时具有较好的束流稳定性.添加束阑,并结合掩模修正束流,会得到更好的束流密度与刻蚀深度均匀性.
- 董晓浩刘颖赵飞云徐德权徐向东周银贵汪啸姚传荣洪义麟付绍军徐朝银
- 关键词：离子束刻蚀机
- X射线光束线仪器与条形射频源离子束刻蚀设备研制若干问题研究
- 同步辐射(SR)、惯性约束聚变(ICF)等以粒子束输运(Particle transport)为基础的大科学工程装置近年来在世界范围广泛发展，与之相关的非标仪器设备普遍涉及多门学科的精密集成，往往成为工程实施的关键。
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- 董晓浩
- 关键词：惯性约束聚变离子束刻蚀
- NSRL衍射和散射线站硬X射线参数测量被引量：4
- 2003年
- 描述了NSRL新建X射线衍射和散射光束线站的主要指标测试及其结果,包括X射线单色光斑的CCD成像(4mm×0.5mm)、波长标定和光子通量(0.4×10~9—2.1×10~9 photons·s^(-1)·(100mA)^(-1))的测量;已在该线站上应用同步辐射X射线成功地收集了5组700余幅磷脂酶A2和神经毒蛋白晶体的衍射数据,处理结果良好。
- 范荣徐朝银潘国强黄志刚董晓浩
- 关键词：X射线衍射
- 同步辐射X射线双晶单色器联动机构被引量：2
- 2007年
- 提出了一种实现固定空间输出位置同步辐射双晶单色器的方法及联动机构。分析了基于Bragg衍射原理的此类X射线双晶单色器发展状况,尤其是在能量扫描过程中,通过运动补偿实现出射光束方向与位置固定的方法,总结了各种机械联动机构。在综合凸轮耦合运动机构及直角联动机构运动特点基础上,详细描述了国家同步辐射实验室成功研制的X射线双晶单色器L型联动机构特征,其融合了二者的优点,简化了结构与运动,重点分析了其结构原理与运动关系,以及机构运动的实现与第二晶体自身微调,并对其性能做了进一步的讨论。测试结果表明,L型联动机构完全适用于实现3.1-12.4 keV整个能量范围的全谱扫描实验研究。
- 董晓浩凤良杰康乐徐朝银
- 关键词：双晶单色器X射线
- KZ-400离子束刻蚀装置设计中的若干真空问题被引量：2
- 2005年
- 本文解决了KZ-400离子束刻蚀装置设计中遇到的若干真空问题。通过抽速计算选择了合理的真空配置;用有限元分析软件ANSYS计算了真空室的受压形变,优化了真空室的结构,采取了合理的误差补偿措施;并通过摩擦润滑试验和质谱分析检测了二硫化钼润滑剂的真空润滑性能,解决了工作台扫描运动的有效润滑。
- 高飞董晓浩赵飞云凤良杰徐朝银
- 关键词：有限元分析润滑剂质谱分析
- NSRL-XAFS光束线弧矢聚焦双晶单色器设计被引量：4
- 2006年
- 针对XAFS光束线能量动态扫描的实验特点,介绍了弧矢聚焦双晶单色器的物理设计:包括晶体光学结构、性能参数计算、晶体热载分析和弧矢弯曲原理.弧矢缩比选择为1∶4.88,水平接收角由原来的1 mrad拓宽到3 mrad,在不改变基本配置的情况下,获得了样品上束斑缩小、光子通量高达半个量级以上的增益.
- 凤良杰董晓浩高飞康乐赵飞云徐朝银
- 关键词：光束线能量分辨率
- X射线衍射和散射光束线环面聚焦镜的面形精度与像差分析被引量：15
- 2004年
- 介绍了用于NSRL的X射线衍射和散射光束线中环面聚焦镜的成像原理和基本结构,分析计算了各种像差和面形精度对成像质量的影响,重点描述了镜子因受力弯曲在子午方向的曲率变化与理论值的误差以及反射表面受同步辐射光照射而产生的热载变形,进而求得实验样品上束斑成像的高度。最后用CCD探测实际光斑的尺寸,结果表明:理论计算与实测数据非常吻合。
- 黄志刚董晓浩高飞徐朝银
- 关键词：面形误差像差X射线衍射面形精度
