邓元龙
- 作品数：59 被引量：136H指数：7
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- 相关领域：自动化与计算机技术机械工程文化科学电子电信更多>>
- 非偏振分光镜对外差干涉仪非线性误差的影响被引量：11
- 2012年
- 除了激光源、偏振分光镜(PBS)和波片等偏振器件之外,非偏振分光镜(NPBS)也是外差干涉仪中重要的非线性误差源。研究了多层介质膜NPBS的退偏效应和方位角对非线性误差的影响。采用p、s分量透射比、反射比、反射相移和透射相移共同表征NPBS的退偏效应,并逐项分析了其非线性误差模型。如果入射光束为理想线偏振光,则只有NPBS的反射相移和透射相移影响测量精度。如果入射光束存在偏振椭圆化和非正交,则NPBS的方位角、透射比和反射比、相移等参数的变化都会引入非线性误差,误差曲线的斜率受椭圆率和非正交角的影响。因此选用不同的激光源,同一个NPBS产生的非线性误差大小不同,一般可达几个纳米量级。为了实现纳米/亚纳米级精度的外差干涉测量,选择性能稳定的NPBS,特别是NPBS退偏效应与激光源输出偏振态之间的匹配非常重要。
- 邓元龙李学金耿优福洪学明
- 关键词：外差干涉仪
- 一种大型零件的测量方法及系统
- 本发明公开了一种大型零件的测量方法及系统，通过确定相机阵列中每台相机的像素坐标系与世界坐标系的转换关系，再针对所述相机阵列中的每一台相机，获取该台相机对应的零件图像，根据所述零件图像，确定该相机对应的第一图像，然后根据所...
- 钟小品何锐远邓元龙
- 文献传递
- 基于F-P干涉的强度型光纤压力传感器被引量：3
- 2011年
- 研究基于强度解调技术的Fabry-Perot干涉型光纤微机电系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)压力传感器.该传感器采用MEMS各向异性腐蚀工艺加工的方形硅杯,其硅杯结构尺寸和表面光洁度比圆形压力敏感膜一致性好.传感器采用大面积比的方法,降低硅敏感膜片弯曲变形所引起的非线性测量误差,新增参考光路以补偿光源功率波动对测量的影响.在0～38kPa压力范围内实现了单值测量,相对灵敏度达到0.7%/kPa.实验与理论分析结果一致,具有很好的测量重复性.提出的多波长和多传感融合的测量方法,可用于扩大测量范围,提高灵敏度.
- 邓元龙赵小丽李学金耿优福洪学明邱成军
- 关键词：传感器技术光纤光学微机电系统强度调制
- 非偏振分光镜对干涉式椭偏仪测量精度的影响被引量：3
- 2012年
- 提出了一种新型激光外差干涉椭偏测量术用于实现纳米级精度的薄膜厚度测量。采用偏振光p和s分量透射比、反射比、反射相移、透射相移共同表征非偏振分光镜(NPBS)的退偏效应,建立了相应的误差模型,从而研究了多层介质膜NPBS的退偏效应和方位角对椭偏参数误差的影响。研究结果表明,由环境温度、入射角和光束偏振态的变化引起的NPBS退偏参数的漂移对椭偏测量精度影响很大,且无法通过标定来降低。为实现纳米级测量精度,NPBS的对准误差需要控制在0.1°以内。相对而言,用于合光的NPBS方位角误差对测量精度影响较大,NPBS所导致的膜厚测量总误差约为1.8～2.5nm,说明NPBS是马赫曾德尔干涉式椭偏仪的一个不可忽视的误差源。
- 邓元龙李学金耿优福洪学明
- 关键词：椭偏测量
- 大功率激光光纤透镜耦合系统设计被引量：5
- 2005年
- 在不考虑像差的情况下,采用傍轴光线传输ABCD定律,结合混合模系数M(或M2)的定义,研究了大功率LD尾纤输出的混合模类高斯光束经透镜之后束腰及束腰位置和发散角的变化,并在此基础上,利用MATLAB软件中的优化设计工具,提出一种设计大功率激光光纤准直———聚焦双透镜耦合系统的简单方法,最后给出了一个光子晶体光纤激光器透镜耦合系统设计实例.
- 邓元龙姚建铨阮双琛孙秀泉
- 关键词：系统设计光子晶体光纤激光器ABCD定律大功率激光高斯光束发散角
- 一种大型零件的测量方法及系统
- 本发明公开了一种大型零件的测量方法及系统，通过确定相机阵列中每台相机的像素坐标系与世界坐标系的转换关系，再针对所述相机阵列中的每一台相机，获取该台相机对应的零件图像，根据所述零件图像，确定该相机对应的第一图像，然后根据所...
- 钟小品何锐远邓元龙
- 文献传递
- 光场图像重建模型训练及快速超分辨率重建方法
- 本发明提供了光场图像重建模型训练及快速超分辨率重建方法，首先通过使用两个不同的训练集对预设网络模型进行训练，训练出具有两组模型参数的光场图像重建模型，再分别利用训练得到的两组模型参数对光场图像进行角度超分辨率重建和空间超...
- 王兴政游森林昝永强邓元龙
- 透射式外差椭偏测量及非线性误差分析被引量：2
- 2005年
- 结合激光外差干涉法和透射式椭偏测量原理,研究了一种快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法.给出了光学系统设计和理论分析,使用两个声光调制器产生20 kH z的差频,直接比较平行分量和垂直分量外差信号的幅值和相位,得到所需要的椭偏参数.光束偏振态的椭圆化及偏振分光不完全所引起的非线性误差是影响纳米薄膜测量精度的主要因素,推导出椭偏参数非线性误差的近似解析表达式,计算结果表明由此导致的膜厚测量误差可达几个nm,相对而言,激光器和反射镜等器件产生的光束椭偏化是其主要原因.
- 邓元龙姚建铨阮双琛孙秀泉吴玉斌
- 关键词：外差干涉声光调制器
- 外差干涉椭圆偏振测量的理论与实验研究
- 纳米级厚度薄膜在微电子、材料与化学工程、光学与激光技术等诸多科学领域有着广泛的应用。针对自动光度式椭偏仪的缺点及工业现场的实时、在线测量要求，本文对外差干涉椭圆偏振测量技术进行了系统的理论分析和实验研究。实验系统包括外差...
- 邓元龙
- 关键词：误差分析
- 文献传递
- 光纤激光器透镜耦合系统的优化设计被引量：9
- 2005年
- 准直一聚焦双透镜系统是光纤激光器中常用的一种泵浦耦合技术,但是对于大功率LD泵浦源尾纤输出的多模类高斯光束,难以解析表达其中高阶模式的透镜变换规律,根据此设计透镜耦合系统过程也很复杂。本文用几何光学的方法保证数值孔径的匹配,以类高斯光束光斑尺寸作为基模高斯光束束腰,用基模高斯光束传播规律来简化大功率光纤激光器透镜耦合系统的优化设计.最后给出了一个利用MAT-LAB优化工具函数设计双透镜聚焦耦合系统的实例。
- 邓元龙姚建铨阮双琛王鹏
- 关键词：优化设计高斯光束光纤激光器
