贾泽纯
- 作品数：7 被引量：5H指数：2
- 供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金黑龙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术理学金属学及工艺更多>>
- 掺硼四面体非晶碳膜的微观结构及光谱表征被引量：2
- 2008年
- 分别采用过滤阴极真空电弧技术制备了不同含硼量四面体非晶碳(ta-C:B)膜,并用X射线光电子能谱(XPS)、Raman光谱对薄膜的微观结构和化学键态进行了研究.XPS分析表明薄膜中B主要以石墨结构形式存在,随着B含量的增加,sp^3杂化碳的含量逐渐减小,Ta-C:B膜的Raman谱线在含硼量较高时,其D峰和G峰向低频区偏移,且G峰的半峰宽变窄,表明B的引入促进了sp^2杂化碳的团簇化,减小了原子价键之间的变形,从而降低了薄膜的内应力.
- 张化宇檀满林韩杰才朱嘉琦贾泽纯
- 关键词：XPSRAMAN光谱
- 磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法
- 磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法，它属于耐磨耐蚀涂层领域。本发明要解决现有磷化硼薄膜制备方法存在寿命短的技术问题。本发明方法：一、超声清洗；二、将步骤一处理后的不锈钢衬底置于磁控溅射真空仓内的加热台上，然后对真空仓进行抽真空...
- 朱嘉琦沈伟霞贾泽纯韩杰才王家智
- 文献传递
- 磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法
- 磷化硼耐磨耐蚀涂层的制备方法，它属于耐磨耐蚀涂层领域。本发明要解决现有磷化硼薄膜制备方法存在寿命短的技术问题。本发明方法：一、超声清洗；二、将步骤一处理后的不锈钢衬底置于磁控溅射真空仓内的加热台上，然后对真空仓进行抽真空...
- 朱嘉琦沈伟霞贾泽纯韩杰才王家智
- 采用磁控溅射在碳化硅反射镜表面涂覆硅膜的方法
- 采用磁控溅射在碳化硅反射镜表面涂覆硅膜的方法，它涉及碳化硅反射镜表面的涂膜方法。它解决了现有反射镜的两相具有相差悬殊的硬度值，使抛光的均匀性受到影响，加工难度高；反射镜的粗糙度较高、表面易损伤的问题。本发明的方法为：一、...
- 朱嘉琦姜春竹韩潇贾泽纯韩杰才张宇民
- 文献传递
- 采用磁控溅射在碳化硅反射镜表面涂覆硅膜的方法
- 采用磁控溅射在碳化硅反射镜表面涂覆硅膜的方法，它涉及碳化硅反射镜表面的涂膜方法。它解决了现有反射镜的两相具有相差悬殊的硬度值，使抛光的均匀性受到影响，加工难度高；反射镜的粗糙度较高、表面易损伤的问题。本发明的方法为：一、...
- 朱嘉琦姜春竹韩潇贾泽纯韩杰才张宇民
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- 溅射工艺参数对硅薄膜微结构影响的Raman分析被引量：3
- 2010年
- 为了解决碳化硅难以进行光学加工的问题,该文采用射频磁控溅射方法,在碳化硅反射镜坯体上沉积与碳化硅具有相近热膨胀系数且易于进行光学加工的硅薄膜。利用拉曼光谱(Raman)对衬底温度、射频功率、衬底偏压等溅射工艺条件对硅膜微结构的影响进行了分析。研究发现:随着衬底温度的升高,薄膜的晶化率先增大后减小;衬底偏压的增加不利于薄膜有序结构的形成;射频功率对薄膜微结构的影响比较复杂,随着功率的升高,薄膜晶粒尺寸减小,晶化率降低,当射频功率进一步升高时,薄膜中有序团簇尺寸和晶化率逐渐升高。但过高的射频功率反而不利于薄膜的晶化。
- 田桂朱嘉琦韩杰才姜春竹贾泽纯
- 关键词：碳化硅反射镜硅薄膜磁控溅射拉曼散射
- 衬底温度对磁控溅射硅薄膜结构性能的影响
- 采用磁控溅射镀膜技术,在不同衬底温度下沉积硅薄膜,利用拉曼(Raman)散射谱、X射线衍射(XRD)研究了衬底温度对薄膜微结构的影响,并对其结果进行分析讨论。研究结果表明,随着衬底温度的升高,表征薄膜微结构的晶粒尺寸和晶...
- 田桂朱嘉琦韩杰才贾泽纯姜春竹
- 关键词：硅薄膜磁控溅射拉曼光谱XRD
- 文献传递
