您的位置: 专家智库 > >

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇会议论文

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇多层结构
  • 2篇多孔硅
  • 2篇原子力显微镜
  • 2篇SPM

机构

  • 2篇复旦大学

作者

  • 2篇杨建树
  • 2篇侯晓远
  • 2篇蔡群
  • 2篇胡舜涛
  • 2篇董树忠
  • 2篇袁帅

传媒

  • 1篇电子显微学报
  • 1篇第五届全国S...

年份

  • 2篇1999
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
多层多孔硅的SPM研究
多层多孔硅是采用交替变化脉冲腐蚀电流密度的方法制成的多孔度周期性变化的多孔硅结构,我们用 AFM 对多层多孔硅结构的侧向解理的截面进行观测,得到了不同多孔度层及其界面处的图像。发现不同周期中相同条件下腐蚀得到的多孔硅层,...
胡舜涛杨建树袁帅蔡群董树忠侯晓远
关键词:原子力显微镜多层结构
文献传递
多层多孔硅的SPM研究
1999年
多层多孔硅是采用交替变化脉冲腐蚀电流密度的方法制成的多孔度周期性变化的多孔硅结构,我们用AFM对多层多孔硅结构的侧向解理的截面进行观测,得到了不同多孔度层及其界面处的图像。发现不同周期中相同条件下腐蚀得到的多孔硅层,其层厚随周期的不同而不同,从而限制了多孔硅发光峰半宽的缩小。对多层多孔硅的电化学腐蚀机理作了初步的探讨。
胡舜涛杨建树袁帅蔡群董树忠侯晓远
关键词:原子力显微镜多孔硅多层结构SPM
共1页<1>
聚类工具0