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胡舜涛
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2
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供职机构:
复旦大学物理学系应用表面物理国家重点实验室
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相关领域:
电子电信
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合作作者
袁帅
复旦大学物理学系应用表面物理国...
董树忠
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蔡群
复旦大学物理学系应用表面物理国...
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复旦大学物理学系应用表面物理国...
杨建树
复旦大学物理学系应用表面物理国...
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多层多孔硅的SPM研究
多层多孔硅是采用交替变化脉冲腐蚀电流密度的方法制成的多孔度周期性变化的多孔硅结构,我们用 AFM 对多层多孔硅结构的侧向解理的截面进行观测,得到了不同多孔度层及其界面处的图像。发现不同周期中相同条件下腐蚀得到的多孔硅层,...
胡舜涛
杨建树
袁帅
蔡群
董树忠
侯晓远
关键词:
原子力显微镜
多层结构
文献传递
多层多孔硅的SPM研究
1999年
多层多孔硅是采用交替变化脉冲腐蚀电流密度的方法制成的多孔度周期性变化的多孔硅结构,我们用AFM对多层多孔硅结构的侧向解理的截面进行观测,得到了不同多孔度层及其界面处的图像。发现不同周期中相同条件下腐蚀得到的多孔硅层,其层厚随周期的不同而不同,从而限制了多孔硅发光峰半宽的缩小。对多层多孔硅的电化学腐蚀机理作了初步的探讨。
胡舜涛
杨建树
袁帅
蔡群
董树忠
侯晓远
关键词:
原子力显微镜
多孔硅
多层结构
SPM
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