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王代冕
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学技术大学物理学院物理系
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相关领域:
理学
一般工业技术
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合作作者
马玉蓉
中国科学技术大学物理学院物理系
方容川
中国科学技术大学物理学院物理系
揭建胜
中国科学技术大学物理学院物理系
牛晓滨
中国科学技术大学物理学院物理系
尚乃贵
中国科学技术大学物理学院物理系
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常超
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传媒
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材料导报
年份
1篇
2001
共
1
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相关度排序
被引量排序
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计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统的研制与应用
被引量:3
2001年
在863"九五”计划期间,我们研制成功"计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统”,并用此设备在无人值守的情况下,生长出毫米级金刚石和金刚石/硅碳氮多层膜,证明该设备安全可靠,性能优良.
方容川
常超
廖源
叶祉渊
薛剑耿
王冠中
马玉蓉
尚乃贵
牛晓滨
王代冕
吴气虹
揭建胜
关键词:
金刚石薄膜
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