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李传文
作品数:
6
被引量:23
H指数:1
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
上海市科学技术发展基金
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
机械工程
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合作作者
王育竹
中国科学院上海光学精密机械研究...
蔡惟泉
中国科学院上海光学精密机械研究...
霍芸生
中国科学院上海光学精密机械研究...
曾庆林
中国科学院上海光学精密机械研究...
王长生
中国科学院上海光学精密机械研究...
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机构
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中国科学院上...
作者
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李传文
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蔡惟泉
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赵隆兴
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鄢和明
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王长生
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物理学报
1篇
光学学报
年份
1篇
2001
2篇
2000
3篇
1999
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6
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高熔点金属原子束发射源
一种高熔点金属原子束发射源,含有置于顶上带炉盖的周围有冷却水管的炉体内部中心的加热管。加热管内有盛放原子束金属材料的坩埚。加热管管壁中部有原子束喷孔。对准原子束喷孔的加热管的防辐射层上有大开孔,对准大开孔的炉体上有侧筒。...
蔡惟泉
曾庆林
李传文
李佛生
霍芸生
王育竹
文献传递
原子刻印
原子刻印是原子光学领域中极具应用潜力的方向之一.作为刻印媒体的原子拥有激光、X射线、电子束及离子束等各种刻印媒体所不能具有的优点:1.原子质波波长短,因此衍射极限很小,在0.1纳米量级;2.它不携带高能量,对掩膜和基板无...
李传文
关键词:
原子光学
文献传递
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原子刻印
原子刻印是原子光学领域中极具应用潜力的方向之一.作为刻印媒体的原子拥有激光、X射线、电子束及离子束等各种刻印媒体所不能具有的优点:1.原子质波波长短,因此衍射极限很小,在0.1纳米量级;2.它不携带高能量,对掩膜和基板无...
李传文
关键词:
原子光学
原子光刻
被引量:22
1999年
介绍了根据量子光学的最新成果———激光冷却和捕陷中性原子的原理而发展出的一种新型纳米级刻印技术———原子光刻.介绍了该项技术的基本原理、总体方案、单元技术及刻印结果,将这项新技术与其他微刻印方法进行了比较,展望了其应用于微电子学等领域的前景.
蔡惟泉
李传文
霍芸生
王育竹
关键词:
原子光刻
刻印
量子光学
激光冷却
激光冷却在原子束六极磁透镜技术中的应用
被引量:1
2000年
分析了由六极磁场构成的原子束磁透镜的原理及像差。在比较了热原子束和单色冷原子束的会聚效果后得出结论 :影响它成像的主要因素是色差。应用激光冷却技术能使这一影响减小 ,从而使磁透镜在原子光学领域得到更广泛的应用。
李传文
蔡惟泉
王育竹
关键词:
激光冷却
原子束
微结构光学先进技术研究-原子光刻研究
王育竹
蔡惟泉
霍芸生
李传文
曾庆林
鄢和明
王长生
何慧娟
钱林兴
赵隆兴
该课题经三年的工作,建立了原子光刻实验装置,包括高真空系统,Cr原子束源,特定频率的单频稳频激光光源等,对上述基本单元进行了实验,获得较好的实验结果。在高温Cr原子源的设计和制造上采用了创新技术,使该器件体积小,造价低,...
关键词:
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原子
光刻
微结构
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