曾庆林
- 作品数：8 被引量：12H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金上海市科学技术发展基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 原子光刻用亚稳态氖原子束源的研究被引量：2
- 2002年
- 研制了一台用于原子光刻的亚稳态氖原子束源 ,其束流强度可达 3 3× 10 14 atoms/s·Sr.。研究了束流强度的变化规律 ,并对其机理进行了探讨。
- 霍芸生蔡惟泉曾庆林鄢和明王育竹
- 关键词：原子光刻惰性气体亚稳态原子束束流强度氖原子
- 亚稳态氖原子光刻的实验研究被引量：1
- 2003年
- 用亚稳态氖原子束进行了原子光刻实验。用栅网作掩膜 ,以扩散泵油的有机分子在高能亚稳态氖原子作用下所生成的碳膜作抗蚀剂 ,在硅片上刻蚀出分辨率为 2 μm的微结构 ,为进一步的纳米级原子光刻技术的研究打下了基础。
- 霍芸生蔡惟泉曾庆林鄢和明王育竹
- 关键词：原子光刻惰性气体微结构
- 高熔点金属原子束发射源
- 一种高熔点金属原子束发射源,含有置于顶上带炉盖的周围有冷却水管的炉体内部中心的加热管。加热管内有盛放原子束金属材料的坩埚。加热管管壁中部有原子束喷孔。对准原子束喷孔的加热管的防辐射层上有大开孔,对准大开孔的炉体上有侧筒。...
- 蔡惟泉曾庆林李传文李佛生霍芸生王育竹
- 文献传递
- 红移高功率大失谐驻波光场原子光刻被引量：5
- 2001年
- 研究了红移大失谐驻波光场在高功率的情况下对原子束的聚焦特性 ,数值结果显示在激光功率较高的情况下 ,有实现原子光刻的可能。在单线功率输出为P =7W ,光斑尺寸为w0 =0 .1mm的Ar+ 离子激光束的条件下 ,Cr原子束在置于焦平面处的基板上所沉积的条纹半高宽度为 2 0nm左右 ,对比度为 4～ 5。提出了用增强腔来提高条纹对比度和减小色差的办法。在势阱深度增强 2 5 0 0倍时 ,沉积的条纹半高宽度为 5nm～ 10nm ,对比度约为 7。
- 曾庆林霍芸生蔡惟泉王育竹
- 关键词：原子光刻
- 用于热原子束的消色差原子透镜的研究被引量：1
- 2001年
- 研究了与钠原子束斜交的激光束所构成的消色差原子透镜的聚焦特性 ,计算结果表明 ,由于色差得到一定程度的修正 ,沟道化钠原子的条纹宽度减小了一半 ,且信噪比得到了显著的提高。
- 霍芸生蔡惟泉曾庆林王育竹
- 关键词：消色差光刻
- 原子刻印理论及实验研究
- 中国科学院量子光学开放实验室现有两个原子光刻研究项目:Cr原子的沉积型原子刻印和亚稳态Ar原子束的虚狭缝型原子刻印项目,现已建立了原子刻印所需真空系统;Ar、Cr原子刻印实验用的两套原子束和探测系统;Cr原子刻印的激光稳...
- 曾庆林
- 关键词：原子光学
- 文献传递
- 微结构光学先进技术研究-原子光刻研究
- 王育竹蔡惟泉霍芸生李传文曾庆林鄢和明王长生何慧娟钱林兴赵隆兴
- 该课题经三年的工作，建立了原子光刻实验装置，包括高真空系统，Cr原子束源，特定频率的单频稳频激光光源等，对上述基本单元进行了实验，获得较好的实验结果。在高温Cr原子源的设计和制造上采用了创新技术，使该器件体积小，造价低，...
- 关键词：
- 关键词：原子光刻微结构
- 增强腔在大失谐原子光刻中的应用
- 2001年
- 对增强腔在大失谐光场原子光刻中的实现进行了详细的讨论 ,通过增强腔对激光光束的压缩和功率的增强可达到近共振原子光刻的要求。数值结果显示相对于近共振原子刻印结果 ,在增强腔下光束中心处沉积的原子条纹宽度将更细 ,为原子刻印提供了一种实现条纹精细度较高的新型方案。
- 曾庆林蔡惟泉霍芸生王育竹
- 关键词：原子光刻
