张庚宇
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 供职机构：天津理工大学更多>>
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- 相关领域：理学电子电信更多>>
- 靶基距对反应溅射AlN薄膜微结构和性能的影响被引量：2
- 2012年
- 采用射频(RF)磁控反应溅射法在Si基底上制备了氮化铝(AlN)薄膜,利用X射线衍射(XRD)、傅立叶红外光谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)和纳米力学测试系统研究靶基距对AlN薄膜取向性、微结构、形貌和力学性能的影响。结果表明,靶基距较大时,形成的AlN薄膜为非晶态,薄膜表面较疏松;随着靶基距的减少,AlN薄膜变为多晶态,且具有(100)择优取向;随着靶基距的进一步减少,薄膜结晶质量变好,晶粒变大,薄膜变得更致密,择优取向也由(100)逐渐向(002)转变;靶基距较小时,AlN压电薄膜与基底结合得更牢固,而压电薄膜与基底结合的紧密程度对多层膜声表面波(SAW)器件性能优劣的影响至关重要。
- 王进李翠平杨保和张庚宇尹涛涛苏林
- IDT/AIN/Diamond声表面波多层膜的模拟与制备
- 为了研制高频(2.5GHz)大功率SAW滤波器所需的基底材料-“IDT/AlN/Diamond”多层膜结构，本文建立了“IDT/AlN”结构和“IDT/AlN/Diamond”结构的几何模型，通过有限元分析软件ANSYS...
- 张庚宇
- 关键词：声表面波器件叉指换能器SAW滤波器
- 文献传递
- IDT/A1N/Diamond声表面波多层膜的模拟与制备
- 为了研制高频(2.5GHz)大功率SAW滤波器所需的基底材料---“IDT/AlN/Diamond”多层膜结构,本文建立了“IDT/AlN”结构和“IDT/AlN/Diamond”结构的几何模型,通过有限元分析软件ANS...
- 张庚宇
- 关键词：声表面波器件ALN叉指换能器多层膜
- 文献传递
