崔江涛
- 作品数：5 被引量：9H指数：1
- 供职机构：上海大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金：“上海－应用材料研究与发展”基金国家自然科学基金上海市教育委员会重点学科基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学核科学技术更多>>
- 纳米金刚石薄膜的光学性能研究被引量：7
- 2006年
- 用热丝化学气相(HFCVD)法在硅衬底上制备了表面光滑、晶粒致密均匀的纳米金刚石薄膜,用扫描电镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观测薄膜的表面形貌和粗糙度,拉曼光谱表征膜层结构,紫外-可见光分光光度计测量其光透过率,并用椭圆偏振仪测试、建模、拟合获得了表征薄膜光学性质的n,k值.结果表明薄膜的晶粒尺寸在100nm以下,表面粗糙度仅为21nm;厚度为3.26(m薄膜在632.8nm波长处的透过率为25%,1100nm波长处达到50%.采用直接光跃迁机制估算得到纳米金刚石薄膜的光学能隙(Eg)为4.3 eV.
- 蒋丽雯王林军刘健敏阮建锋苏青峰崔江涛吴南春史伟民夏义本
- 关键词：纳米金刚石薄膜表面粗糙度
- 多层式金刚石薄膜的制备工艺研究被引量：1
- 2006年
- 利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,沉积了晶粒尺寸逐层减小的多层式金刚石薄膜。场发射扫描电镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)测试显示其表层晶粒平均尺寸约为20nm,厚度和表面平均粗糙度分别为35.81μm和18.8nm(2μm×2μm),皆能满足高频声表面波器件用衬底的要求。实验结果表明,多层式生长方法是制备声表面波器件用金刚石衬底的理想方法。
- 阮建锋夏义本王林军刘健敏蒋丽雯崔江涛苏青峰史伟民
- 关键词：纳米金刚石HFCVD表面粗糙度声表面波
- 晶粒尺寸对CVD金刚石膜电学特性的影响被引量：1
- 2006年
- 通过改变生长参数,采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法制备了从10μm到90nm四种晶粒尺寸的金刚石膜,并制作了三明治结构的光电导探测器。采用原子力显微镜和拉曼光谱仪研究了薄膜的结构和表面形貌:表面粗糙度从423nm变化到15nm;晶粒越大,金刚石膜的质量越好。I-V特性测试结果表明随着晶粒尺寸的减小,金刚石膜的电阻率从1011Ω.cm减小到106Ω.cm。在5.9 keV的55Fe X射线辐照下,随着晶粒尺寸的减小,探测器的信噪比(SNR)呈减小趋势。
- 崔江涛王林军苏青峰阮建锋蒋丽雯史伟民夏义本
- 关键词：金刚石膜电学特性晶粒尺寸HFCVD
- 新型金刚石膜微条气体室X射线探测器
- 2005年
- 以金刚石膜/硅复合材料作为基板,运用微加工技术在金刚石膜/硅衬底上光刻铬/金微条电极,制成了流气式微条气体室探测器。在室温及101.0kPa下,使用微机多道能谱仪及辅助电子学设备在5.9keV55FeX射线辐照下测量了微条气体室探测器在不同电压下的能谱响应和脉冲信号。结果表明微条气体室探测器具有较高的信噪比,计数率≥103Hz,当混合工作气体Ar:CH4=90:10、漂移电压-1000V、阴极电压-650V、阳极0V时,能量分辨率达12.3%。
- 苏青峰夏义本王林军杨莹张明龙楼燕燕顾蓓蓓崔江涛史伟民
- 关键词：金刚石膜MSGCX射线探测器能量分辨率
- 微结构对CVD金刚石膜探测器件性能的影响
- 由于具有独特的电学、光学、热学、优越的物理和化学稳定性能，CVD金刚石薄膜已成为苛刻环境下工作的辐射探测器首选材料。本文在回顾该领域研究进展的基础上，首先就化学气相沉积(CVD)金刚石膜的生长原理及工艺进行了研究，然后对...
- 崔江涛
- 关键词：金刚石膜粒子探测器晶粒取向晶粒尺寸电学特性
- 文献传递
