吕世功
- 作品数：3 被引量：7H指数：2
- 供职机构：大连理工大学更多>>
- 相关领域：理学更多>>
- PECVD系统的等离子体诊断及DLC膜的结构和性能研究
- 2008年
- 类金刚石碳膜以其优异的性能,诸如高电阻率、高硬度、低摩擦系数、良好的光学特性等显示出良好的应用前景,越来越受到人们的关注。本文首先利用朗谬耳探针对基底附近的等离子体特性进行了诊断,考察了离子电流密度与脉冲电压和工作气压的关系。然后在不同的气体比例下成功的制备出了DLC薄膜。采用拉曼光谱仪、原子力显微镜、纳米压痕仪等设备对薄膜的相结构、表面形貌和机械性能进行了综合分析,并研究了镀膜工艺与薄膜特性的关系。
- 楚信谱苟伟李剑锋张礼平吕世功李国卿
- 关键词：等离子体诊断PECVDDLC膜RAMAN光谱表面形貌
- 磁过滤阴极弧制备Ti-DLC薄膜结构和性能的研究
- 本文采用磁过滤阴极弧(FCVA)技术制备含钛类金刚石膜(Ti-DLC)。采用原了力显微镜(AFM)分析了薄膜表面形貌,结果表明,虽仍有少量未过滤掉的颗粒,但薄膜总体上致密平整。采用电子探针(EPMA)、Raman光谱、X...
- 吕世功
- 关键词：RAMANXPS显微硬度
- 文献传递
- 铝基复合材料表面多层复合厚膜的研究被引量：5
- 2010年
- 对含50%AlN颗粒的铝基复合材料进行预处理后,在其表面依次采用浸锌化学镀镍工艺制备Ni-P过渡层,采用脉冲偏压磁过滤多弧离子镀工艺沉积硬质Ti/TiN调制周期膜,采用脉冲等离子体化学气相沉积工艺制备含氢类金刚石(DLC)膜等工艺最后形成了多层复合薄膜体系。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、光谱仪、原子力显微镜、微载荷显微硬度仪、摩擦磨损试验机等设备分析了复合薄膜的组织结构、膜层形貌、截面形貌、显微硬度和摩擦系数等性能特点。测试表明:铝基复合材料/Ni-P层/Ti/TiN调制周期膜/含氢DLC膜这一梯度膜系具有结构交替变化,相邻界面形成混合层,性能梯度分布,硬度逐渐增加,摩擦系数小的特点。该复合工艺能够有效地解决铝基复合材料上制备硬质厚膜的热适配和晶格错配度大的难题,制备薄膜具有良好的膜基结合性能。
- 彭丽平王兆松李剑锋吕世功王春武洪臣巩水利李国卿
- 关键词：多层复合膜类金刚石膜结合力
