付强
- 作品数：4 被引量：5H指数：1
- 供职机构：青岛科技大学材料与环境科学学院更多>>
- 发文基金：山东省自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术更多>>
- 低压金刚石薄膜制备与研究
- 本文主要研究了在CH4/H2=1％～5％，基体温度为700℃～880℃，偏压为0V～400V，沉积气压为1kPa～5kPa等一系列实验条件下金刚石膜的形核与生长。运用扫描电子显微镜和X射线衍射谱对金刚石样品进行了分析，得...
- 付强
- 关键词：化学气相沉积生长速率
- 文献传递
- 等离子体辅助热丝化学气相沉积金刚石复合膜
- 2004年
- 运用等离子体辅助热丝化学气相沉积设备分别进行了金刚石膜和金刚石 /碳化钛复合膜的沉积。实验条件 :甲烷流量与氢气流量比为 1∶5 0 ,基体温度 860℃ ,等离子体偏压 30 0V ,沉积气压 4kPa。运用扫描电子显微镜 (SEM )分别观察了沉积膜的表面和断面形貌 ;运用能量扩散电子谱 (EDX)对沉积的复合膜进行分析 ,观察到Ti元素峰和C元素峰 ;运用X射线衍射 (XRD)得到相应的金刚石衍射峰和碳化钛衍射峰。实验表明 。
- 毕京锋石玉龙付强
- 关键词：金刚石膜复合膜化学气相沉积
- 等离子热丝化学气相沉积金刚石膜工艺参数研究被引量：4
- 2005年
- 采用等离子热丝化学气相沉积(PHFCVD)装置进行了金刚石薄膜的制备实验.实验条件为:氢气流量为200sccm,甲烷流量为2～12sccm,基体温度为700～900℃,偏压为0～400V,真空室压力为4kPa.通过实验得出了甲烷含量、基体温度和偏压对沉积金刚石膜的影响,并运用扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射(XRD)等测试方法对金刚石薄膜进行了观察分析.
- 毕京锋付强石玉龙
- 关键词：等离子热丝化学气相沉积金刚石薄膜
- PAHFCVD金刚石膜表面形貌的研究
- 2005年
- 采用等离子辅助热丝化学气相沉积(PAHFCVD)装置进行了金刚石薄膜、碳化钛/金刚石复合膜、掺硼金刚石薄膜的制备.制备条件分别为:V(CH)4:V(H2)=3:100,载气流量5～50 cm3·s-1,钛源钛酸异丙酯(Ti[OC3H 7]4),硼源硼酸三甲酯(BC3O4H9),基体温度820～860℃,基体偏压300V,沉积气压4 kPa.运用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)和能量扩散电子谱(EDX)等分析手段对PAHFCVD金刚石膜、金刚石复合膜和掺硼金刚石膜进行了表征.结果发现,金刚石/碳化钛膜和掺硼金刚石膜主要晶面为(111)面.
- 付强石玉龙丁发柱
- 关键词：金刚石复合膜
