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陈光族

作品数：7 被引量：0H指数：0
供职机构：西安电子科技大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 5篇专利
  • 1篇期刊文章
  • 1篇科技成果

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 4篇微波谐振腔
  • 3篇电场
  • 3篇淀积
  • 3篇气相淀积
  • 3篇微波电场
  • 3篇化学气相淀积
  • 3篇加工尺寸
  • 3篇扼流圈
  • 3篇法兰
  • 3篇法兰盘
  • 3篇波导
  • 3篇波导管
  • 2篇真空系统
  • 2篇气路系统
  • 2篇传输系统
  • 1篇等离子体
  • 1篇电子显微镜
  • 1篇显微镜
  • 1篇谐振腔
  • 1篇高密度等离子...

机构

  • 7篇西安电子科技...

作者

  • 7篇陈光族
  • 6篇杨银堂
  • 6篇俞书乐
  • 6篇付俊兴
  • 6篇汪家友
  • 3篇刘毅
  • 3篇周端
  • 2篇孙青
  • 1篇吴振宇
  • 1篇李跃进
  • 1篇王水平
  • 1篇李爱军
  • 1篇顾新
  • 1篇柴常春
  • 1篇王平
  • 1篇贾护军

传媒

  • 1篇电子科技杂志

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2009
  • 3篇2008
  • 1篇2005
  • 1篇1994
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
微波ECRCVD设备
杨银堂汪家友付俊兴刘毅周端顾新柴常春李跃进贾护军俞书乐陈光族吴振宇王平李爱军
微波电子回旋共振化学气相淀积(ECRCVD)技术是利用电子在微波和磁场中的回旋共振效应，在真空条件下形成高密度、高活性的等离子体进行气相化学反应，在低温下形成优质薄膜的技术。该项目通过独创性的稀土永磁、大面积、分布式EC...
关键词：
关键词：高密度等离子体化学气相淀积
微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备
本发明公开了一种微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备，该设备包括微波功率源及传输系统101、微波谐振腔体102、工艺室与样品台系统103、真空系统104、气路系统105、自动传片系统106、控制系统107，其中，微波...
杨银堂汪家友付俊兴刘毅周端俞书乐陈光族孙青
文献传递
用于电子回旋共振等离子体源的谐振腔体装置
本实用新型涉及一种用于电子回旋共振等离子体源的谐振腔体装置，该装置包括：同轴波导、介质窗，其中，同轴波导200采用圆波导管和锥形波导管组成的一体结构，该同轴波导下方固定有法兰盘700，法兰盘中间开有圆形窗口，该窗口外侧开...
杨银堂俞书乐汪家友陈光族付俊兴
文献传递
延长TSM－1型电子显微镜灯丝寿命和避免镜筒污染的几种有效的措施
1994年
本文是在长期的ＴＳＭ－１型扫描电子显微镜的使用、维护过程中，总结出的几种延长ＴＳＭ－１型扫描电子显微镜灯丝寿命和避免镜筒污染的有效办法。并且对这些方法进行了理论分析和实验证明，最后列出了一组在ＴＳＭ－１型扫描电子显微镜上的实验数据。
王水平陈光族
关键词：电子显微镜
微波谐振腔体
本发明公开了一种微波谐振腔体，该微波谐振腔包括：同轴波导、介质窗，其中，同轴波导(200)采用圆波导管和锥形波导管组成的一体结构，该同轴波导下方固定有法兰盘(700)，法兰盘中间开有圆形窗口，该窗口外侧开有密封槽(903...
杨银堂俞书乐汪家友陈光族付俊兴
文献传递
微波谐振腔体
本发明公开了一种微波谐振腔体，该微波谐振腔包括：同轴波导、介质窗，其中，同轴波导200采用圆波导管和锥形波导管组成的一体结构，该同轴波导下方固定有法兰盘700，法兰盘中间开有圆形窗口，该窗口外侧开有密封槽903，密封槽中...
杨银堂俞书乐汪家友陈光族付俊兴
文献传递
微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备
本发明公开了一种微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备，该设备包括微波功率源及传输系统101、微波谐振腔体102、工艺室与样品台系统103、真空系统104、气路系统105、自动传片系统106、控制系统107，其中，微波...
杨银堂汪家友付俊兴刘毅周端俞书乐陈光族孙青
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