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俞书乐

作品数：9 被引量：0H指数：0
供职机构：西安电子科技大学更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 8篇专利
  • 1篇科技成果

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 5篇微波谐振腔
  • 4篇淀积
  • 3篇电场
  • 3篇气相淀积
  • 3篇微波电场
  • 3篇化学气相淀积
  • 3篇加工尺寸
  • 3篇扼流圈
  • 3篇法兰
  • 3篇法兰盘
  • 3篇波导
  • 3篇波导管
  • 2篇等离子体
  • 2篇底面
  • 2篇永磁
  • 2篇真空系统
  • 2篇气路系统
  • 2篇紧配合
  • 2篇场强
  • 2篇传输系统

机构

  • 9篇西安电子科技...

作者

  • 9篇杨银堂
  • 9篇俞书乐
  • 9篇付俊兴
  • 9篇汪家友
  • 6篇陈光族
  • 5篇周端
  • 4篇刘毅
  • 3篇吴振宇
  • 2篇李跃进
  • 2篇柴常春
  • 2篇孙青
  • 1篇李爱军
  • 1篇顾新
  • 1篇王平
  • 1篇贾护军

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2009
  • 6篇2008
  • 1篇2005
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
微波ECRCVD设备
杨银堂汪家友付俊兴刘毅周端顾新柴常春李跃进贾护军俞书乐陈光族吴振宇王平李爱军
微波电子回旋共振化学气相淀积(ECRCVD)技术是利用电子在微波和磁场中的回旋共振效应，在真空条件下形成高密度、高活性的等离子体进行气相化学反应，在低温下形成优质薄膜的技术。该项目通过独创性的稀土永磁、大面积、分布式EC...
关键词：
关键词：高密度等离子体化学气相淀积
微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备
本发明公开了一种微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备，该设备包括微波功率源及传输系统101、微波谐振腔体102、工艺室与样品台系统103、真空系统104、气路系统105、自动传片系统106、控制系统107，其中，微波...
杨银堂汪家友付俊兴刘毅周端俞书乐陈光族孙青
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用于电子回旋共振等离子体源的分布式永磁磁场装置
本发明公开了一种用于电子回旋共振等离子体源的分布式永磁磁场装置，主要解决现有技术能耗高、体积大、均匀性差的问题。整个装置包括磁铁200，屏蔽板301、无磁模板302，该无磁模板上设有数个梯形固定孔201和一个圆形固定孔2...
杨银堂俞书乐汪家友付俊兴
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用于电子回旋共振等离子体源的谐振腔体装置
本实用新型涉及一种用于电子回旋共振等离子体源的谐振腔体装置，该装置包括：同轴波导、介质窗，其中，同轴波导200采用圆波导管和锥形波导管组成的一体结构，该同轴波导下方固定有法兰盘700，法兰盘中间开有圆形窗口，该窗口外侧开...
杨银堂俞书乐汪家友陈光族付俊兴
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一种磁铁磁场装置
本实用新型公开了一种磁铁磁场装置，主要解决现有磁场装置体积大、均匀性差的问题。整个装置包括磁铁200，屏蔽板301、无磁模板302，该无磁模板上设有数个梯形固定孔201和一个圆形固定孔202，梯形固定孔由圆心向外在半径R...
吴振宇杨银堂周端俞书乐汪家友付俊兴
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等离子体化学气相淀积装置
本实用新型公开了一种等离子体化学气相淀积装置，该装置包括微波功率源及传输部件101、微波谐振腔体102、工艺室与样品台部件103、真空部件104、气路部件105、自动传片部件106、控制部件107，其中，微波谐振腔体内设...
杨银堂周端柴常春李跃进刘毅汪家友付俊兴俞书乐吴振宇
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微波谐振腔体
本发明公开了一种微波谐振腔体，该微波谐振腔包括：同轴波导、介质窗，其中，同轴波导(200)采用圆波导管和锥形波导管组成的一体结构，该同轴波导下方固定有法兰盘(700)，法兰盘中间开有圆形窗口，该窗口外侧开有密封槽(903...
杨银堂俞书乐汪家友陈光族付俊兴
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微波谐振腔体
本发明公开了一种微波谐振腔体，该微波谐振腔包括：同轴波导、介质窗，其中，同轴波导200采用圆波导管和锥形波导管组成的一体结构，该同轴波导下方固定有法兰盘700，法兰盘中间开有圆形窗口，该窗口外侧开有密封槽903，密封槽中...
杨银堂俞书乐汪家友陈光族付俊兴
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微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备
本发明公开了一种微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备，该设备包括微波功率源及传输系统101、微波谐振腔体102、工艺室与样品台系统103、真空系统104、气路系统105、自动传片系统106、控制系统107，其中，微波...
杨银堂汪家友付俊兴刘毅周端俞书乐陈光族孙青
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