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阎震

作品数：9 被引量：7H指数：1
供职机构：北京理工大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学一般工业技术机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇期刊文章
  • 2篇学位论文
  • 1篇专利

领域

  • 5篇电子电信
  • 1篇化学工程
  • 1篇机械工程
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 6篇金刚石
  • 6篇金刚石薄膜
  • 6篇刚石
  • 2篇等离子
  • 2篇等离子体
  • 2篇电弧
  • 2篇电弧等离子体
  • 1篇直流电弧
  • 1篇屏蔽罩
  • 1篇气相法
  • 1篇气相法制备
  • 1篇热沉
  • 1篇基底组成
  • 1篇合成金刚石
  • 1篇放电区
  • 1篇成膜

机构

  • 9篇北京理工大学

作者

  • 9篇阎震
  • 7篇李荣志
  • 6篇朱鹤孙
  • 2篇唐森
  • 1篇张忠廉
  • 1篇丁洪生

传媒

  • 2篇北京理工大学...
  • 2篇微细加工技术
  • 1篇化工学报
  • 1篇高技术通讯

年份

  • 2篇1993
  • 4篇1991
  • 1篇1990
  • 2篇1989
共 9 条 记 录，以下是 1-9
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排序方式：
高速合成的金刚石薄膜性能被引量：1
1991年
阎震施海良唐森李荣志朱鹤孙
关键词：金刚石薄膜
气相法制备金刚石的新进展
1990年
本文对气相法制备金刚石技术的新发展作了综述,同时介绍了自行设计的低压直流电弧等离子体喷射法装置,并对所制备的金刚石薄膜进行了拉曼光谱及扫描电镜的分析与评价。
阎震李荣志朱鹤孙
关键词：金刚石气相法
金刚石薄膜热沉的开发被引量：1
1991年
本文综述了金刚石热沉的发展过程,指出了开发金刚石薄膜热沉的意义,介绍了用直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石薄膜的热性质以及金刚石薄膜热沉表面的抛光和金属化方法。
施海良阎震李荣志唐森朱鹤孙
关键词：金刚石热沉
直流电弧等离子体喷射法制备金刚石薄膜被引量：1
1989年
金刚石是一种性能非常优异的功能材料。近年来在低压下由气相沉积合成金刚石薄膜的研究引起了很多国家和科学技术工作者的兴趣。 我们设计的低压直流电弧等离子体喷射装置制备出的金刚石薄膜有较高的沉积速度,结构良好。
阎震李荣志朱鹤孙
关键词：金刚石薄膜电弧等离子体
直流电弧等离子体喷射法制备金刚石薄膜被引量：1
1991年
设计了一种以较高速度合成金刚石薄膜的装置。这种装置是在阴极和阳极间用甲烷氢气及氩气产生高密度等离子体射流。等离子体射流以高速度喷射于被冷却的基底上,从而形成金刚石薄膜。
李荣志阎震钟生东张忠廉朱鹤孙
关键词：金刚石
直流电弧等离子体喷射法合成金刚石的研究及应用
阎震
关键词：金刚石薄膜
金刚石薄膜的快速沉积及成膜研究被引量：3
1991年
本文采用直流电弧等离子体喷射法制备金刚石薄膜,对其进行了拉曼光谱及扫描电镜分析.并介绍了几种实验中常见的晶形.最后对金刚石的形成过程作了初步探讨.
阎震李荣志朱鹤孙
关键词：金刚石薄膜成膜
多晶金刚石薄膜的制备及研究
阎震
直流电弧喷射沉积金刚石装置
一种直流电弧喷射沉积金刚石的装置，由真空室、装在真空室上的带由喷枪体支承的阴极、阳极的喷射装置及镀膜基底组成，阴极和阳极之间装有一个以上屏蔽罩，屏蔽罩底部装有屏蔽喷嘴，该屏蔽喷嘴有约束电弧等离子体和稳定电极上的电弧斑点的...
李荣志丁洪生朱鹤孙阎震
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