田莉
- 作品数：7 被引量：20H指数：2
- 供职机构：中南大学物理与电子学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术电子电信机械工程化学工程更多>>
- 合金薄膜电阻应变式压力传感器的研究进展被引量：8
- 2005年
- 综述了合金薄膜应变压力传感器的现状、发展趋势、技术关键及应用情况。合金敏感薄膜电阻在应变压力传感器上的应用克服了粘贴式应变压力传感的缺点,使压力传感器结构更精细,性能更优越,适应各种恶劣环境测量压力的要求。
- 晏建武周继承鲁世强田莉
- 关键词：合金薄膜压力传感器
- 氮分压对离子束溅射镍铬合金薄膜的影响
- 2006年
- 研究了氮气分压对薄膜沉积速率、表面形貌、电阻温度系数(TCR)以及电阻率的影响。利用原子力显微镜表征了薄膜的表面形貌,用Alpha-Step IQ台阶仪和四探针测量了薄膜的厚度和方块电阻。结果表明:薄膜沉积速率随氮气分压增大而减小;热处理使薄膜颗粒尺寸均匀,电阻率减小,电阻迟滞减小且TCR由负值变为正值。
- 田莉周继承晏建武
- 关键词：表面形貌电阻率TCR
- 镍铬合金薄膜的研究进展被引量：12
- 2005年
- 镍铬合金薄膜是重要的精密电阻和应变电阻薄膜材料。简述了镍铬合金薄膜的3种制备方法:真空蒸发沉积、磁控溅射沉积和离子束沉积;讨论了基底、工作气压、沉积时间等薄膜制备工艺参数以及退火工艺对薄膜性能的影响。重点叙述了镍铬合金薄膜、改良型镍铬合金膜、含氯镍铬合金膜、镍铬合金多层膜和纳米镍铬合金薄膜等膜系的特征。阐明了制备具有高电阻率、低电阻温度系数、高应变灵敏系数、良好的热稳定性等优异综合性能的镍铬合金薄膜的新工艺发展趋势。
- 周继承田莉
- 关键词：精密电阻电阻应变计电学性质
- NiCr合金薄膜的制备与特性研究
- 本论文主要研究了在压力传感器中有重要应用前景的NiCr合金薄膜的制备、表征、微观结构和电学特性。包括如下几个方面内容：首先，回顾了NiCr合金薄膜的发展和有关研究结果。然后采用磁控和离子束溅射两种方法制备出了NiCr合金...
- 田莉
- 关键词：磁控溅射离子束溅射电学特性
- 文献传递
- 热处理对离子束溅射Ni-Cr薄膜性能和结构的影响被引量：2
- 2006年
- 采用低能离子束溅射技术制备Ni-Cr合金薄膜,并对Ni-Cr合金薄膜进行快速热处理。用小角度X射线衍射仪、扫描电镜、原子力显微镜、α-台阶仪、四探针仪等测量薄膜的结构、形貌、厚度及电子学特性。研究结果表明:采用低能离子束溅射技术结合快速热处理工艺可以制备性能优良的Ni-Cr合金薄膜,薄膜的厚度与溅射时间呈正比;经过350℃及以上温度快速热处理后,溅射非晶态Ni-Cr合金薄膜发生晶化;溅射态合金薄膜方块电阻与溅射时间呈反比;薄膜方块电阻随热处理温度的升高而降低,经450℃/600 s热处理后薄膜方块电阻不发生变化。
- 周继承晏建武田莉
- 离子束溅射纳米薄膜的制备与性能研究
- 采用低能离子束溅射技术制备了纳米非晶NiCr合金薄膜,该薄膜在快速热处理下发生了由非晶到晶态的转变.用扫描俄歇微探针仪、小角度X射线衍射、扫描电镜、原子力显微镜、a-台阶仪、四探针仪等分别测量了薄膜的厚度、结构、形貌及电...
- 周继承晏建武田莉
- 关键词：扫描电镜
- 文献传递
- 几类信息薄膜及其应用的基础研究
- 周继承晏建武李幼真王小军田莉严钦云何红波李义兵
- 国防及民用工业中需要大量高精度、高稳定性、耐恶劣环境的薄膜压力和温度传感器，低K介质材料作为新一代高性能集成电路互连材料，已成为当今微电子的研究热点。本课题组采用新工艺和新方法研制高性能纳米传感和低K介质信息薄膜。采用双...
- 关键词：
