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田丽

作品数：55 被引量：0H指数：0
供职机构：清华大学更多>>
相关领域：电子电信文化科学一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 55篇中文专利

领域

  • 8篇电子电信
  • 2篇文化科学
  • 1篇电气工程
  • 1篇自动化与计算...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 37篇光刻
  • 37篇光刻机
  • 16篇六自由度
  • 13篇掩模
  • 11篇气浮轴承
  • 11篇轴承
  • 11篇基台
  • 10篇工位
  • 10篇干涉仪
  • 9篇套刻
  • 9篇套刻精度
  • 9篇透镜
  • 9篇模版
  • 9篇光学
  • 9篇光学透镜
  • 8篇激光
  • 6篇电机
  • 6篇掩膜
  • 6篇永磁
  • 6篇系统结构

机构

  • 55篇清华大学

作者

  • 55篇朱煜
  • 55篇田丽
  • 55篇张鸣
  • 53篇尹文生
  • 53篇徐登峰
  • 46篇胡金春
  • 38篇杨开明
  • 27篇许岩
  • 27篇汪劲松
  • 24篇刘召
  • 24篇张利
  • 24篇穆海华
  • 21篇段广洪
  • 17篇成荣
  • 14篇刘昊
  • 14篇张金
  • 12篇叶伟楠
  • 11篇李玉洁
  • 9篇秦慧超
  • 8篇王婧

年份

  • 8篇2015
  • 2篇2014
  • 16篇2013
  • 6篇2012
  • 6篇2011
  • 13篇2010
  • 4篇2009
共 55 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于负刚度原理的永磁低频多自由度隔振度机构
一种基于负刚度原理的永磁低频多自由度隔振度机构，包括下永磁体、上永磁体、橡胶片、下永磁体固定板、橡胶固定座、上永磁体固定板、橡胶压块和橡胶片外缘固定压环；其中永磁体垂直方向磁化，且同极相对。该对永磁体在斥力的作用下形成一...
朱煜徐登峰李强张鸣尹文生杨开明李玉洁许岩田丽雷忠心张利
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纳米精度六自由度磁浮微动台及应用
纳米精度六自由度磁浮微动台及应用，主要应用于半导体光刻设备中。该微动台含有十字支架和四个两自由度致动器。每个两自由度致动器包括沿竖直方向极化的永磁体、水平力线圈以及竖直力线圈，永磁体固定于十字支架的末端，水平力线圈和竖直...
朱煜张鸣李广汪劲松胡金春尹文生杨开明张利马竞许岩李玉洁田丽段广洪
一种多掩模的光刻机硅片台系统
一种多掩模的光刻机硅片台系统，该系统含有基台，至少一个硅片台，一组光学透镜和掩模台系统。所述的掩模台系统包括掩模台基座和掩模承载台；掩模台基座长边为Y方向，短边为X方向，所述的掩模承载台在掩模台基座上沿Y方向作直线运动，...
朱煜张鸣汪劲松田丽徐登峰尹文生段广洪胡金春许岩
一种具有永磁重力补偿结构的微动台
一种具有永磁重力补偿结构的微动台，包括微动台定子、微动台动子及永磁重力补偿结构。该永磁重力补偿结构包括固定部分和支撑部分，固定部分由至少四个永磁单元和永磁体骨架组成，四个永磁单元绕微动台的Z轴均匀布置在永磁体骨架上，每个...
张鸣朱煜刘召许玉洁李玉洁田丽张利杨开明徐登峰秦慧超王平安尹文生胡金穆海华
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一种采用多关节机械手的光刻机硅片台的线缆台
一种采用多关节机械手的光刻机硅片台的线缆台，涉及半导体光刻设备。该线缆台包含一个控制装置和至少一个多关节机械手，每个硅片台对应一个多关节机械手；每个多关节机械手包含一个具有X和Y方向移动自由度的末端连杆和至少一个中间连杆...
张鸣朱煜王婧徐登峰汪劲松许岩马竞张利田丽李玉洁段广洪
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一种光刻机硅片台双台交换系统
一种光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，两个硅片台设置在同一基台上，通过气浮轴承悬浮在基台上表面；每个硅片台分别由一条沿Y方向的导轨穿过，导轨的一端与一个主驱动单元连接，...
朱煜张鸣汪劲松田丽徐登峰尹文生段广洪胡金春
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一种光刻机硅片台双台交换系统
一种光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台，两个硅片台设置在同一基台上，通过气浮轴承悬浮在基台上表面；每个硅片台分别由一条沿Y方向的导轨穿过，导轨的一端与一个主驱动单元连接，...
朱煜张鸣汪劲松田丽徐登峰尹文生段广洪胡金春
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一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统
一种二自由度外差光栅干涉仪位移测量系统，包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、电子信号处理部件；光栅干涉仪包括偏振分光镜、参考光栅、折光元件；该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频...
张鸣朱煜王磊杰杨开明刘召成荣刘昊徐登峰叶伟楠张利赵彦坡田丽张金胡金春穆海华尹文生秦慧超
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采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统
采用气浮平面电机的硅片台双台交换系统，主要用于光刻机系统中。该硅片台双台交换系统包括基台、两个结构相同的分别工作于预处理工位和曝光工位的硅片台和硅片台驱动装置。所述硅片台驱动装置由平面电机和气浮结构组成，平面电机采用永磁...
朱煜张鸣汪劲松闵伟尹文生胡金春徐登峰杨开明段广洪田丽许岩
一种低频三自由度隔振器
一种低频三自由度隔振器，涉及一种用于精密领域、IC(集成电路)制造领域或光学领域上的一种隔振设备。该隔振器由空气弹簧和一对空心筒状永磁体构成，外空心筒状永磁体固定在空气弹簧主体的顶部，内空心筒状永磁体固定在空气弹簧的橡胶...
朱煜徐登峰汪劲松李强张鸣尹文生杨开明纪春华许岩田丽
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