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曹慧梅
作品数:
2
被引量:8
H指数:1
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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相关领域:
电子电信
理学
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合作作者
吕旭如
中国科学院半导体研究所
段满龙
中国科学院半导体研究所
孙文荣
中国科学院半导体研究所
赵建群
中国科学院半导体研究所
杨子祥
中国科学院半导体研究所
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提高(100)晶向磷化铟单晶的成晶率和质量的研究
被引量:8
2003年
通过对高压液封直拉法单晶生长过程的热传输和影响熔体温度起伏的几个关键因素的分析,研究适合生长(100)晶向磷化铟单晶的热场系统,有效地降低了孪晶产生的几率,重复地生长出了整锭掺硫和掺铁的、直径为50mm和76mm的(100)磷化铟单晶。测试结果表明我们生长(100)磷化铟单晶的热场在生长过程中使晶锭保持较为平坦的固液界面,可稳定地获得具有低的缺陷密度和良好的电学均匀性的高质量磷化铟单晶材料。
赵有文
段满龙
孙文荣
杨子祥
焦景华
赵建群
曹慧梅
吕旭如
关键词:
磷化铟
单晶
孪晶
固液界面
半导体材料
(100)磷化铟单晶生长及其性质的研究
通过对磷化铟晶体中产生孪晶的机理和原因的研究分析,建立了一套适合(100)磷化铟单晶生长的热场系统,重复生长出掺硫和掺铁的整锭(100)磷化铟单晶.在此条件下生长的(100)磷化铟单晶具有低的位错密度和优异的电学均匀性....
赵有文
段满龙
孙文荣
杨子祥
焦景华
赵建群
董志远
曹慧梅
吕旭如
曾一平
李晋闽
林兰英
关键词:
单晶生长
孪晶
半导体材料
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