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孙广翔

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 1篇视觉
  • 1篇切边
  • 1篇蓝宝
  • 1篇蓝宝石
  • 1篇蓝宝石衬底
  • 1篇非接触
  • 1篇非接触式
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体设备
  • 1篇LED
  • 1篇衬底

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇孙广翔
  • 1篇刘玄博
  • 1篇高岳
  • 1篇杨帆

传媒

  • 2篇电子工业专用...

年份

  • 2篇2014
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
非接触式预对准系统及控制技术研究被引量：1
2014年
高精度高效率的预对准系统是现代集成电路(IC)生产中实现晶圆自动传输的重要部件。介绍了预对准台的大致设计结构,分析了目前常见的找心算法以及存在的问题,进而提出新的找圆心算法。之后针对带切边晶圆片的切边方向定位算法进行了分析归纳,总结出完整的切边定位算法。
刘玄博孙广翔
半导体设备视觉清晰化技术研究
2014年
在蓝宝石衬底的LED生产工艺中,对半导体设备的显微镜成像清晰程度提出了很高的要求。以国内多家LED大型生产厂商的工艺为实验蓝本,针对多种清晰化方案进行了比对,进而提出一种基于图像处理的清晰化方案,并具有高度的实时性,可行性,可靠性。
杨帆高岳孙广翔
关键词：蓝宝石蓝宝石衬底
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共1页<1>
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