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姚鹏

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：西安交通大学机械工程学院精密工程与光学测试技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇国内会议论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇压力传感器
  • 1篇式微
  • 1篇热阻
  • 1篇微压
  • 1篇微压力传感器
  • 1篇温度
  • 1篇力传感器
  • 1篇感器
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 2篇西安交通大学

作者

  • 2篇姚鹏
  • 2篇蒋庄德
  • 1篇赵玉龙
  • 1篇卢德江

传媒

  • 1篇第四届全国微...

年份

  • 2篇2000
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
微压力传感器制作工艺对其性能的影响
影响微压力传感器性能的因素很多,除了从结构设计上来提高或改善传感器的性能外,通过控制和改进工艺也能提高或改善传感器性能指标.本文就是从微制作技术的角度来分析工艺对性能的影响.
蒋庄德岳彩青姚鹏赵玉龙
关键词：微压力传感器
文献传递
热阻式微型温度传感器的制作工艺
微型温度传感器是具有广泛应用前景的MEMS产品。本文针对其敏感元件提出了设计方案并试制出了样品。本文所采用的设计原理简单,制作方法也切实可行,为微型传感器的制作提供了方法。最后,本文还针对制作中出现的问题提出了解决方案。
蒋庄德姚鹏卢德江
文献传递
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