陈波
- 作品数：7 被引量：16H指数：3
- 供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程金属学及工艺电子电信更多>>
- 18.2nm Schwarzschild显微成像系统初步研究被引量：4
- 1996年
- 叙述了Schwarzschild型正入射软X射线多层膜显微成像系统的设计、制作和成像实验，其工作波长为18．2nm，放大倍数为10．5×，极限分辨率小于0．2μm。采用Mo／Si多层膜，周期和层数分别为9．5nm和41。用激光等离子体光源对20pl／mm和55pl／mm的栅网进行了软X射线显微成像实验，所得结果表明此显微成像系统的分辨率在微米量级。
- 王占山曹健林陈波马月英陈斌张俊平王兆岗高宏刚吕俊霞陈星旦
- 关键词：软X射线多层膜X射线光具组
- 一种检测超光滑表面粗糙度方法的初步研究被引量：6
- 1996年
- 本文依据软Ｘ射线标量散射理论，给出了一种用软Ｘ射线全积分散射检测超光滑表面粗糙度ＲＭＳ值的方法，并设计和建立了测试装置。
- 项阳郭玉彬陈波李福田
- 关键词：软X射线超光滑表面粗糙度测量
- 冷冻靶激光等离子体软X射线源
- 1998年
- 报道了以固态ＣＯ２作为靶材的一种新型激光等离子体软Ｘ射线源，与常规金属靶激光等离子体软Ｘ射线源相比，它是一种低污染的光源，深入研究正在进行中。
- 林景全陈波陈波曹健林陈星旦
- 关键词：激光等离子体
- 软X射线电离室绝对探测器的研制
- 1992年
- 近20年来,随着X射线光学的发展,人们对软X射线及其相关技术的研究不断深入,迫切要求在软X射线波段得到准确可靠的测量数据,为此建立起了一系列绝对定标装置以完成软X射线波段的绝对测量.自60年代发展起来的软X射线波段探测器有正比计数器、盖革计数器、Si(Li)探测器等,但因这些探测器均包含窗口,不同窗口材料对软X射线的吸收具有不同的分布,因此这些探测器都不宜做标准探测器用.
- 陈波马玲李福田陈星旦
- 关键词：软X射线电离室产额探测器
- 无碎屑激光等离子体软X射线源的研究及应用前景被引量：1
- 1998年
- 分析了常规金属靶激光等离子体源产生固体碎屑的原因及其对软Ｘ射线光学元件的危害，介绍了近年来发展起来的无碎屑激光等离子体软Ｘ射线源，归纳了无碎屑激光等离子体软Ｘ射线源的几种形式和特点，并且描述了这种新型光源在软Ｘ射线显微术及光刻术中的应用．
- 林景全陈波曹健林
- 关键词：激光等离子体
- 25kW氩壁稳电弧离子体LTE性的光谱学实验研究被引量：5
- 1993年
- 本文利用光谱学诊断方法对25kW氩壁稳电弧等离子体的LTE性进行了实验研究.结果发现在实验条件下等离子体至少是PLTE的,压力高于0.05MPa、电流大于50A时,基本上是LTE的,谱线半宽度与等离子状态无关,只取决于电子密度.
- 韩隆恒杨富荣谢锦辉徐高升李福田陈波
- 关键词：光谱等离子体诊断光源氩
- X射线波段多层膜光学元件
- 1991年
- X射线波段多层膜光学元件的制备与应用研究是近年来国际上短波光学界的一大热点。对于同步辐射,这类多层膜光学元件可以极大扩展其应用范围;对于X射线激光研究,各种多层膜反射镜和半透半反镜是实现X射线激光谐振腔的关键元件;对于天文学和天体物理学,多层膜反射镜组成的正入射X射线望远镜是大气层外天文观测的重要手段;对于新一代微电子学和微机械学,多层膜元件组成的光学系统是亚微米X射线光刻术的技术关键;对于生物学和医学研究,多层膜元件组成的正入射X射线显微镜可以获得比可见光至少高一个量级的分辨率,并实现对细胞单元的活体实时观察。同时,多层膜元件的制备与应用研究对X射线光学理论以及相关的超精密加工、检测技术、超薄膜制备技术也起了极大的推动作用。
- 曹健林缪同群马月英朱秀芳陈波钱莉民李福田陈星旦
- 关键词：X射线光学元件
- 全文增补中
