陈友明
- 作品数：11 被引量：19H指数：1
- 供职机构：中国科学院兰州化学物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金创新研究群体科学基金中国科学院“百人计划”更多>>
- 相关领域：一般工业技术机械工程金属学及工艺理学更多>>
- 金属Ti与非金属C复合对CrN薄膜的微观结构及摩擦学性能影响的研究
- 利用中频磁控溅射方法,在P（111）硅片上制备了CrN、CrTiN币CrCN薄膜。采用X射线衍射（XRD） 分析显示:CrN薄膜呈现比较随机的取向,而CrTiN薄膜明显的（200）取向,结晶性也变差;CrCN则没有出现结...
- 张广安王鹏陈友明张俊彦闫鹏勋
- 关键词：摩擦学性能
- 文献传递
- 碳含量对BCxN薄膜结构和性能的影响
- 采用中频磁控溅射技术,使用 N和 Ar 混合气体作为反应气体,溅射纯硼靶,通过通入不同流量的甲烷在单晶硅衬底上制备了不同碳含量的 BCN 薄膜。用傅立叶变换红外光谱(FTIR), 拉曼光谱(Raman)和 X 射线光电子...
- 陈友明杨生荣张俊彦
- 关键词：摩擦学性能
- 文献传递
- 中频磁控溅射法制备BCN薄膜
- 采用中频磁控溅射技术,使用N2和Ar混合气体作为反应气体,分别溅射硼靶和石墨靶, 在单晶硅衬底上制备了BCN薄膜。利用傅立叶变换红外光谱（FTIR）和X射线光电子能谱（XPS）对薄膜的微观结构和化学组成进行了分析,结果表...
- 陈友明张广安王鹏杨生荣张俊彦
- 关键词：磁控溅射红外光谱X射线光电子能谱
- 文献传递
- 在空气和真空条件下不同金属对偶对类金刚石碳膜摩擦磨损性能的影响
- 利用等离子体增强化学气相沉积技术在单晶硅表面制备了含氢类金刚石薄膜（DLC）,在球-盘摩擦磨损试验机上分别考察了在空气（RH≈40%）和真空条件下不同金属对偶材料对DLC薄膜摩擦磨损性能的影响。结果表明:DLC膜在空气条...
- 陈友明杨生荣张俊彦
- 文献传递
- Ti掺杂DLC薄膜的制备及其结构研究
- 利用阴极磁过滤,分别在不锈钢（1Cr18Ni9Ti）和单晶硅基体上制备Ti掺杂复合DLC （TiC／a-C:H）薄膜,分别利用Raman光谱、XPS和IR对薄膜组成及其结构进行了分析,利用纳米压入对薄膜力学性能进行了研究...
- 王鹏陈友明张广安刘维民张俊彦
- 关键词：类金刚石碳膜摩擦学性能
- 文献传递
- 在不锈钢基底上沉积硼碳氮薄膜方法
- 本发明公开了一种在不锈钢基底上沉积硼碳氮薄膜方法，薄膜能够抗离子液体腐蚀。本发明采用中频磁控溅射物理气相沉积技术，在不锈钢基底上直接沉积一层硼碳氮薄膜。
- 杨生荣陈友明张俊彦
- 文献传递
- 中频磁控溅射沉积含铝类金刚石碳膜结构及其摩擦磨损性能研究被引量：19
- 2008年
- 采用中频磁控溅射技术在单晶硅表面制备含铝类金刚石(Al-DLC)薄膜,利用原子力显微镜、X射线光电子能谱仪、红外光谱仪、纳米压痕仪和微摩擦磨损试验机等考察薄膜表面形貌、结构及其摩擦磨损性能.结果表明:所制备的Al-DLC薄膜均匀、致密,表面粗糙度小,应力较低,硬度较高;薄膜与Si3N4陶瓷球对摩时显示出良好抗磨减摩性能;加基底偏压所制备薄膜的摩擦系数明显降低,耐磨寿命显著提高.
- 张广安王鹏陈友明王霞闫鹏勋张俊彦
- 关键词：中频磁控溅射摩擦磨损性能
- 中频磁控溅射法制备BCN薄膜
- 采用中频磁控溅射技术,使用N2和Ar混合气体作为反应气体,分别溅射硼靶和石墨靶,在单晶硅衬底上制备了BCN薄膜。利用傅立叶变换红外光谱(FTIR)和X射线光电子能谱(XPS)对薄膜的微观结构和化学组成进行了分析,结果表明...
- 陈友明张广安王鹏杨生荣张俊彦
- 关键词：磁控溅射红外光谱X射线光电子能谱
- 文献传递
- Ti掺杂DLC薄膜的制备及其摩擦学性能研究
- 利用阴极磁过滤,分别在不锈钢（1Crl8Ni9Ti）和单晶硅基体上制备Ti掺杂复合DLC（TiC／a-C:H）薄膜,分别利用Raman光谱、XPS和TEM对薄膜组成及其结构进行了分析,利用纳米压入对薄膜力学性能进行了研究...
- 王鹏陈友明张广安刘维民张俊彦
- 关键词：类金刚石碳膜摩擦学性能
- 文献传递
- 磁控溅射沉积BCN薄膜结构及其离子液体润滑下的摩擦磨损性能研究
- 陈友明
- 关键词：中频磁控溅射微观结构摩擦磨损行为
