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穆怀普

作品数：2 被引量：15H指数：1
供职机构：合肥工业大学更多>>
相关领域：一般工业技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 2篇旋转圆柱
  • 2篇圆柱
  • 2篇溅射
  • 2篇磁控
  • 2篇磁控溅射
  • 1篇阴极
  • 1篇有限元
  • 1篇ANSYS有...
  • 1篇场分布
  • 1篇磁场
  • 1篇磁场分布

机构

  • 2篇合肥工业大学

作者

  • 2篇穆怀普
  • 1篇裘一冰
  • 1篇刘腾飞
  • 1篇陈长琦

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 2篇2012
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
磁控溅射旋转圆柱阴极靶关键技术的研究与结构设计
磁控溅射旋转圆柱阴极靶（简称旋转靶）自发明至今，已经被广泛的应用于工业化制备大面积功能薄膜的生产中。虽然经历了几十年的发展和创新，旋转靶在工业生产中仍然存在着如下问题：在靶材表面上垂直于电场的磁场分布不均匀，造成靶材被溅...
穆怀普
关键词：磁控溅射磁场分布ANSYS有限元
文献传递
旋转圆柱靶磁控溅射阴极的磁场模拟及结构设计被引量：15
2012年
基于旋转圆柱靶磁控溅射阴极的工作原理,建立其结构模型,并应用ANSYS有限元方法对旋转靶阴极磁场进行了模拟计算,得到了磁场分量Bx在靶材表面上的二维磁场分布规律。通过调节磁铁的宽和高、磁铁间夹角以及设置可移动磁性挡板等方法优化磁场并设计了一种新型磁场结构旋转靶。本研究为旋转靶磁控溅射阴极的磁场结构设计提供了理论依据。
陈长琦穆怀普刘腾飞裘一冰
关键词：磁控溅射
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