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裘一冰
作品数:
4
被引量:17
H指数:2
供职机构:
合肥工业大学
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相关领域:
一般工业技术
理学
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合作作者
陈长琦
合肥工业大学机械与汽车工程学院
王国栋
合肥工业大学机械与汽车工程学院
刘腾飞
合肥工业大学
穆怀普
合肥工业大学
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铜基NiCr系太阳光吸收薄膜制备及性能分析
基于等效媒质理论设计了NiCr四层渐变膜系。以4:1的NiCr合金靶材,氧气和氮气为反应气体,氩气为工作气体,用磁控反应溅射法制备蓝色NiCr系太阳能光谱选择性吸收薄膜。测试分析薄膜成分、微观结构、厚度、吸收比和发射率对...
陈长琦
裘一冰
王国栋
关键词:
光吸收性能
填充因子
文献传递
铜基NiCr系太阳光吸收薄膜制备及性能分析
被引量:3
2012年
基于等效媒质理论设计了NiCr四层渐变膜系。以4∶1的NiCr合金靶材,氧气和氮气为反应气体,氩气为工作气体,用磁控反应溅射法制备蓝色NiCr系太阳能光谱选择性吸收薄膜。测试分析薄膜成分、微观结构、厚度、吸收比和发射率对薄膜性能的影响。测试结果表明两层吸收膜的吸收比大于单层吸收膜;单层吸收膜的吸收比随填充因子的增大而增大;当单层吸收膜的填充因子在两层吸收膜的填充因子之间时,两层吸收膜的发射率小于单层吸收膜;两层吸收膜的吸收比随减反射层厚度的增大先增大后减小,发射率则一直增大。为多层铜基NiCr系阳光吸收膜磁控溅射沉积制备工艺提供了理论依据。
陈长琦
裘一冰
王国栋
关键词:
磁控反应溅射
吸收比
发射率
填充因子
铜基NiCr系高吸收阳光选择性薄膜性能的研究
近年来太阳光谱选择性吸收涂层的研究及其在热水器上的的应用已经成为国内外感兴趣的课题。欧洲国家特别是德国以平板式热水器为主,实现了在柔性基上磁控溅射制备选择性薄膜的卷绕镀工艺,且已规模化生产。在总结了国内外研究成果的基础上...
裘一冰
关键词:
选择性吸收涂层
吸收比
填充因子
磁控反应溅射
文献传递
旋转圆柱靶磁控溅射阴极的磁场模拟及结构设计
被引量:15
2012年
基于旋转圆柱靶磁控溅射阴极的工作原理,建立其结构模型,并应用ANSYS有限元方法对旋转靶阴极磁场进行了模拟计算,得到了磁场分量Bx在靶材表面上的二维磁场分布规律。通过调节磁铁的宽和高、磁铁间夹角以及设置可移动磁性挡板等方法优化磁场并设计了一种新型磁场结构旋转靶。本研究为旋转靶磁控溅射阴极的磁场结构设计提供了理论依据。
陈长琦
穆怀普
刘腾飞
裘一冰
关键词:
磁控溅射
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