盛国浩
- 作品数：5 被引量：0H指数：0
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- MgxZn1-xO合金薄膜的制备和性能研究
- 盛国浩
- 关键词：透射谱
- 宽禁带Mg_xZn_(1-x)O薄膜的制备和性能研究
- 2008年
- 采用磁控溅射法,通过ZnO陶瓷靶和Mg金属靶在石英衬底上制备了MgxZn1-xO薄膜。研究了Mg原子含量对MgxZn1-xO薄膜结构和光学性能的影响。XRD测试结果表明,MgxZn1-xO薄膜在(0002)方向有明显的c轴择优取向。随着Mg原子含量的提高,薄膜由六角单相转化为六角相和立方相的混合相。MgxZn1-xO合金薄膜的透射谱表明,薄膜的透射率略有下降,但在可见光区域的平均透射率仍大于85%,吸收边逐渐蓝移,最短的吸收边为283nm。能隙宽度图表明,MgxZn1-xO薄膜的能隙宽度从3.36eV增加到4.27eV。
- 盛国浩贾芳朱德亮曹培江吕有明马晓翠
- 关键词：X射线衍射透射光谱
- 宽禁带MgzZn1-zO薄膜的制备和性能研究
- 采用磁控溅射法、通过ZnO陶瓷靶和Mg金属靶在石英衬底上制备了MgxZn1-xO薄膜。研究了Mg原子含量对MgxZn1-xO薄膜结构和光学性能的影响。XRD测试结果表明：MgxZn1-xO薄膜在(0002)方向有明显的c...
- 盛国浩贾芳朱德亮曹培江吕有明马晓翠
- 关键词：透射光谱磁控溅射法光学性能
- 文献传递
- 一种磁控溅射掺杂ZnO基薄膜的制备方法
- 本发明提供了一种磁控溅射掺杂生长ZnO基薄膜的制备方法，包括步骤：将衬底放置在磁控溅射装置的反应室内，反应室抽真空至压力低于1×10<Sup>-4</Sup>Pa；分别将ZnO靶材和掺杂源元素靶材放置在反应室转盘上的射频...
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- 文献传递
- 宽禁带Mg_xZn_(1-x)O薄膜的制备和性能研究
- 采用磁控溅射法,通过ZnO陶瓷靶和Mg金属靶在石英衬底上制备了Mg_xZn_(1-x)O薄膜。研究了Mg原子含量对Mg_xZn_(1-x)O薄膜结构和光学性能的影响。XRD测试结果表明,Mg_xZn_(1-x)O薄膜在(...
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- 关键词：X射线衍射透射光谱
- 文献传递
