李珂
- 作品数：4 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国科学院研究生院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 反射式光读出非致冷红外成像阵列器件研究
- 本论文研究了基于MEMS技术的反射式光读出非致冷红外成像阵列器件制作工艺及新结构设计。 器件制作方面,为减小微镜表面弯曲,提出一种改善器件微镜表面平坦性的方案:通过Lifioff工艺在微镜和双材料梁上实现不同厚度的Al膜...
- 李珂
- 关键词：MEMS技术温度补偿噪声等效温差
- 文献传递
- 光学读出热成像焦平面阵列的制作技术
- 光学读出热成像是一种新型的红外成像技术,它基于双材料效应和光学原理实现像转换与像增强,具有高性价比的潜在优势。光学读出热成像焦平面阵列由可动微镜阵列构成,其制作技术是光学读出热成像技术的重要研究内容之一。目前,国内外的研...
- 冯飞李珂杨广立闫许熊斌王跃林
- 关键词：焦平面阵列
- 文献传递
- 光学读出热成像焦平面阵列的制作技术被引量：1
- 2007年
- 光学读出热成像是一种新型的红外成像技术,它基于双材料效应和光学原理实现像转换与像增强,具有高性价比的潜在优势。光学读出热成像焦平面阵列由可动微镜阵列构成,其制作技术是光学读出热成像技术的重要研究内容之一。目前,国内外的研究者已发展了基于表面微机械、体微机械以及表面/体微机械工艺的3种制作技术,前两者各有优缺点,而基于表面/体硅微机械工艺的制作技术则兼顾了前两者的优点。
- 冯飞李珂杨广立闫许熊斌王跃林
- 关键词：焦平面阵列
- 带温度补偿结构的高灵敏度光读出红外成像阵列器件设计
- 2009年
- 本文提出了一种光读出红外成像阵列器件的结构设计,该设计提高了器件的热-机械灵敏度,同时能有效降低周围环境温度变化所带来的影响。理论计算表明,该阵列器件的关键性能指标热-机械灵敏度和噪声等效温差分别为2.39×10-3和2.42,此外,ANSYS模拟仿真的结果验证了该设计能抑制周围环境温度波动对器件红外目标探测的影响。
- 李珂冯飞熊斌王跃林
- 关键词：噪声等效温差温度补偿
