闫许
- 作品数：7 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金“上海－应用材料研究与发展”基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学机械工程更多>>
- 光学读出热成像焦平面阵列的制作技术
- 光学读出热成像是一种新型的红外成像技术,它基于双材料效应和光学原理实现像转换与像增强,具有高性价比的潜在优势。光学读出热成像焦平面阵列由可动微镜阵列构成,其制作技术是光学读出热成像技术的重要研究内容之一。目前,国内外的研...
- 冯飞李珂杨广立闫许熊斌王跃林
- 关键词：焦平面阵列
- 文献传递
- 基于热光效应的红外焦平面阵列器件
- 光读出红外焦平面阵列通常以双材料效应作为探测机理，利用悬臂梁支撑的反射镜、光栅等结构的热机械运动实现读出光相位调制与红外探测。2006年法国Redshift公司推出一种基于热光效应的热相机模块，采用对称结构的膜系作为敏感...
- 闫许
- 关键词：红外探测
- 光学读出热成像焦平面阵列的制作技术被引量：1
- 2007年
- 光学读出热成像是一种新型的红外成像技术,它基于双材料效应和光学原理实现像转换与像增强,具有高性价比的潜在优势。光学读出热成像焦平面阵列由可动微镜阵列构成,其制作技术是光学读出热成像技术的重要研究内容之一。目前,国内外的研究者已发展了基于表面微机械、体微机械以及表面/体微机械工艺的3种制作技术,前两者各有优缺点,而基于表面/体硅微机械工艺的制作技术则兼顾了前两者的优点。
- 冯飞李珂杨广立闫许熊斌王跃林
- 关键词：焦平面阵列
- 数字式微流控变焦透镜及其制作方法
- 本发明涉及一种数字式微流控变焦透镜及其制作方法。所述的数字式微流控变焦透镜中流体透镜和液压执行器单元是在基底和盖板之间充满流体的腔体，且两者腔体内流体相互连通。液压执行器单元是由若干个可独立控制的、容积相同或不同的腔体组...
- 闫许熊斌王跃林
- 热光型红外探测器及其制作方法
- 本发明涉及一种热光型红外探测器及制作方法，其特征在于所述的红外探测器由硅衬底，制作于硅衬底之上的像素阵列，以及和硅衬底相键合的玻璃构成，或者由硅衬底，制作于硅衬底之上的像素阵列，与硅衬底相键合的玻璃以及和硅衬底相粘接的红...
- 冯飞闫许熊斌王跃林
- 文献传递
- 热光型红外探测器及其制作方法
- 本发明涉及一种热光型红外探测器及制作方法，其特征在于所述的红外探测器由硅衬底，制作于硅衬底之上的像素阵列，以及和硅衬底相键合的玻璃构成，或者由硅衬底，制作于硅衬底之上的像素阵列，与硅衬底相键合的玻璃以及和硅衬底相粘接的红...
- 冯飞闫许熊斌王跃林
- 文献传递
- 数字式微流控变焦透镜及其制作方法
- 本发明涉及一种数字式微流控变焦透镜及其制作方法。所述的数字式微流控变焦透镜中流体透镜和液压执行器单元是在基底和盖板之间充满流体的腔体，且两者腔体内流体相互连通。液压执行器单元是由若干个可独立控制的、容积相同或不同的腔体组...
- 闫许熊斌王跃林
- 文献传递
