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张俊平
作品数:
3
被引量:12
H指数:3
供职机构:
中国科学院长春光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
理学
机械工程
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合作作者
马月英
中国科学院长春光学精密机械研究...
吕俊霞
中国科学院长春光学精密机械研究...
曹健林
中国科学院长春光学精密机械研究...
高宏刚
中国科学院长春光学精密机械研究...
陈星旦
中国科学院长春光学精密机械研究...
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机构
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作者
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马月英
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张俊平
2篇
高宏刚
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曹健林
2篇
吕俊霞
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王占山
1篇
裴舒
1篇
曹健林
1篇
陈星旦
传媒
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光学学报
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光学精密工程
年份
1篇
1998
1篇
1995
1篇
1994
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软X射线多层膜色散元件
被引量:4
1994年
介绍研制软X射线多层膜色散元件的初步结果.结合M_0/S_1、W/Si色散元件的研制实例,讨论了包括设计、性能模拟计算、镀膜工艺、检测等在内的制备过程.这些元件将在X射线光学和X射线光谱学的有关研究工作中得到应用.
曹健林
马月英
张俊平
高宏刚
王占山
裴舒
陈星旦
关键词:
软X射线
用磁控溅射法制备软X射线多层膜
被引量:4
1995年
本文介绍用直流-射频平面磁控溅射法制备软x射线多层膜的初步实验结果。在一定工艺条件下,采用计算机定时控制膜厚的方法,严格按照设计周期制备了多层膜样品,并给出了X射线衍射仪小角衍射的检测结果。
张俊平
马月英
高宏刚
陈斌
裴舒
吕俊霞
曹健林
关键词:
磁控溅射
软X射线多层膜
正入射Mo/B_4C软X射线多层膜
被引量:4
1998年
采用Mo/B4C材料在短波长波段(λ<10.0nm)进行软X射线多层膜实验研究。在指定波长(8.0nm附近)处对多层膜进行结构设计,并制备出了周期结构准确的Mo/B4C多层膜样品。
吕俊霞
马月英
张俊平
曹健林
关键词:
软X射线
多层膜
正入射
薄膜光学
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