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崔文秀
作品数:
3
被引量:5
H指数:1
供职机构:
河北省科学院
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相关领域:
理学
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
吴晓波
河北省科学院
罗廷礼
河北省科学院
王志娜
河北省科学院
潘存海
河北省科学院
王少岩
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金刚石膜
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金刚石
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激光
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激光损伤
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功率
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刚石
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CVD
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表面金属化
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大面积金刚石...
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高功率
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北京科技大学
作者
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吴晓波
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罗廷礼
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张永贵
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杜素梅
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郭辉
1篇
李国华
1篇
孙振路
1篇
王少岩
传媒
2篇
河北省科学院...
年份
1篇
2004
1篇
1999
1篇
1997
共
3
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金刚石膜半导体热沉焊前表面金属化工艺研究
金刚石膜因其优良的热导率和良好的电绝缘性能,为制造半导体热沉创造了极好的条件。为了实现金刚石膜热沉应用于半导体器件,焊前必须金属化。本文利用电子束真空蒸镀法研究了金刚石膜金属化工艺。金刚石膜金属化后薄膜化学成分分析采用R...
潘存海
何奇宇
崔文秀
王志娜
吴晓波
关键词:
金刚石膜
表面金属化
文献传递
廉价制备大面积金刚石膜的高功率直流等离子体喷射设备的研制
被引量:5
1997年
本文介绍了在863新材料领域资助下最新研制成功的100kw级高功率直流等离子体喷射(DCPlasmaJet)金刚石膜沉积系统。利用该系统在氩气—氢气—甲烷气体系中进行了初步的工艺试验,经过40小时的连续运行,在Φ110mm的基片上沉积出中心厚1.9mm,边沿厚1.6mm的金刚石膜。平均生长速率达44μm/h。
臧建民
潘存海
唐才先
杜素梅
罗廷礼
张永贵
康增江
石尔平
王少岩
孙振路
郭辉
崔文秀
李国华
王志娜
吴晓波
臧怀壮
钟国仿
王豪
唐伟忠
吕反修
关键词:
金刚石
激光切割对金刚石膜性能的影响
2004年
研究了激光切割对CVD金刚石膜三点弯曲断裂强度和热导率的影响。选择合适的激光 切割电压和切割速度可以避免这种激光损伤并给出了判断该切割电压和切割速度是否合适的 方法。
崔文秀
吴晓波
蔡云虹
罗廷礼
关键词:
CVD
金刚石膜
激光损伤
热导率
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