韩成成
- 作品数:3 被引量:8H指数:1
- 供职机构:合肥工业大学更多>>
- 发文基金:中央高校基本科研业务费专项资金安徽省科技攻关计划更多>>
- 相关领域:自动化与计算机技术机械工程交通运输工程更多>>
- 新型Z轴差分电容式加速度传感器研究
- 微机械加速度传感器克服了传统机械传感器的诸多缺点,而在许多领域得到了广泛的应用,其中,电容式加速度传感器因其高灵敏度、低温度漂移等特点备受瞩目。本文针对电容式加速度传感器设计中Z轴易出现耦合干扰及分析不够精确这一现象,对...
- 韩成成
- 关键词:微机电系统
- 文献传递
- Z轴完全差分电容式加速度传感器设计分析
- 2012年
- 设计了一种Z轴完全差分电容式加速度传感器,交错梳齿、两组对称可动梳齿通过挠性梁连接在固定衬底上,对称布局使结构稳定并解决了X和Y轴向对Z轴向加速度检测的耦合干扰。对传感器在敏感方向加速度作用下的偏转特性进行分析,给出了相关理论模型并对其求解。对传感器在非敏感方向加速度作用下的扭转变形进行分析,计算该扭转对Z轴检测产生的干扰与结构之间的关系。通过结构的优化设计,使传感器在设计的量程范围内达到最佳检测效果。利用ANSYS进行模拟分析,得到该传感器的灵敏度为0.31 fF/g,验证了本设计分析的合理性、可行性和精确性。
- 许高斌韩成成陈兴
- 关键词:电容式加速度传感器
- 汽车油箱液位测量技术研究被引量:7
- 2012年
- 从目前国内外汽车油箱液位测量技术的现状出发,分析了油箱液位测量常见的几种方法和原理,并对各种方法和原理的优缺点进行了分析和讨论,最后展望了液位测量技术发展的趋势。
- 童鑫韩成成卢翌
- 关键词:汽车