卢翌
- 作品数：6 被引量：16H指数：2
- 供职机构：合肥工业大学电子科学与应用物理学院更多>>
- 发文基金：安徽省科技攻关计划国家高技术研究发展计划更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术交通运输工程机械工程电子电信更多>>
- 纳米多孔硅可控制备研究被引量：2
- 2014年
- 采用了自制双槽和电化学腐蚀法在不同电阻率的硅片上制备出表面平整度很好的纳米多孔硅层,利用场发射扫描电子显微镜对多孔硅的微观形貌进行了分析表征。实验表明多孔硅的孔径、孔隙率和厚度随电化学腐蚀的电流密度和腐蚀时间增加而增加,且电解液中HF（40%）和无水乙醇（99.7%）的配比很趋近时,多孔硅的孔洞分布均匀性越好。在电阻率为0.01~0.02Ω·cm的P型硅片上制备的纳米多孔硅其效果相比其他电阻率的要好。
- 许高斌卢翌陈兴马渊明
- 关键词：电阻率
- 基于绝缘体上硅选择性制备多孔硅的方法
- 本发明涉及一种基于绝缘体上硅（SOI）选择性制备多孔硅的新方法。该方法是采用在SOI硅片上两次腐蚀后进行多孔硅的制备，第一次腐蚀是将SOI硅片的底层硅刻蚀出一个凹槽，第二次是腐蚀在凹槽处露出的绝缘层。再采用电化学腐蚀方法...
- 许高斌卢翌陈兴马渊明
- 文献传递
- 微机械陀螺仪设计与研究被引量：5
- 2013年
- 介绍了微机械陀螺仪的关键技术、种类、性能比较和不同应用领域对其性能参数的要求。总结了近几年国内外微机械陀螺仪结构的研究最新成果。对框架式、音叉式、振动轮式、振动环式、转子悬浮式、质量块式和双线振动式等微机械陀螺仪的结构、加工和性能等进行了分析比较。主要阐述了微机械陀螺仪的漂移误差、精度和封装技术3大研究难点和高精度、微加工维度、结构和电路优化、单片多自由度和单片集成化等研究发展趋势。
- 李凌宇卢翌陈兴许高斌
- 关键词：微系统陀螺仪结构特点
- 汽车油箱液位测量技术研究被引量：7
- 2012年
- 从目前国内外汽车油箱液位测量技术的现状出发,分析了油箱液位测量常见的几种方法和原理,并对各种方法和原理的优缺点进行了分析和讨论,最后展望了液位测量技术发展的趋势。
- 童鑫韩成成卢翌
- 关键词：汽车
- 车载有毒气体CO痕量检测报警系统研究被引量：2
- 2014年
- 实时CO浓度检测报警是基于单片机AT89S52系统。使用对一氧化碳敏感的TGS2600-B00传感器对空气中的CO进行采样检测,通过传感器电阻值的变化反映出浓度的变化,再经模数转换器ADC0809转换后由单片机进行数据处理,并在LED上实时显示出当前CO的浓度,在超过30×10-6时报警。该系统具有灵敏度高、结构简单、体积小、携带与安装方便等特点,具有较高的应用价值。
- 卢翌陈兴马渊明
- 关键词：有毒气体单片机
- SOI高g值压阻式加速度传感器与工艺实现
- 2013年
- 基于SOI技术,利用电感耦合等离子体硅深加工,设计制备了一种新型平面内振动高g值压阻式加速度计。该加速度计包括X轴向与Y轴向单元,采用扇形敏感质量块平板内振动结构。对称的布局方式,有效地消除了灵敏度的交叉干扰,提高了传感器的测量精度。测试系统分析出加速度传感器的灵敏度是1.170μV/g。研究表明该加速度传感器可实现对量程高达25×104g加速度的测量。
- 许高斌陈兴马渊明卢翌汪祖民
- 关键词：高G值压阻式加速度传感器SOI
