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隋明晓
作品数:
3
被引量:2
H指数:1
供职机构:
山东师范大学物理与电子科学学院
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发文基金:
山东省自然科学基金
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相关领域:
一般工业技术
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合作作者
任伟
山东师范大学物理与电子科学学院
曹文田
山东师范大学物理与电子科学学院
王书运
山东师范大学物理与电子科学学院
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射频磁控溅射法制备碲化铅薄膜的X射线衍射分析
2010年
采用射频磁控溅射法,在单面抛光的Si(111)衬底上制备了PbTe薄膜,利用X射线衍射法分析了溅射工艺参数如溅射功率、溅射时间、衬底温度以及退火温度对PbTe薄膜的结晶质量的影响。结果表明:在溅射功率为30W,溅射时间为10 min,衬底未加热时制备的薄膜具有最好的〈100〉方向的择优取向性;退火处理可以改善薄膜的结晶质量,并且退火温度越高,薄膜的结晶质量越好。
隋明晓
曹文田
王书运
任伟
关键词:
XRD
射频磁控溅射
磁控溅射PbTe纳米材料的制备、表征及特性研究
铅的硫属化合物/(PbS、PbSe和PbTe/)是一种窄带隙半导体,广泛应用于红外探测器、二极管激光器以及热电器件等领域。PbTe为一种具有岩盐结构的窄带隙半导体,其带隙宽度为0.31 eV。PbTe的量子效率高,在工作...
隋明晓
关键词:
PBTE
磁控溅射
纳米
退火
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RF磁控溅射法制备PbTe纳米薄膜
被引量:1
2010年
利用RF磁控溅射和真空退火方法制备了PbTe纳米薄膜.利用SEM、XRD、AFM和FTIR分别对制备的样品的表面形貌和颗粒大小、结构以及带隙宽度进行了测试.结果显示,在10W溅射功率下制备的PbTe纳米薄膜为纳米颗粒镶嵌薄膜,在20W功率下为PbTe颗粒膜.10W制备的纳米颗粒的平均直径为40nm左右,平均高度为5nm;20W制备的颗粒直径为100—400nm,平均高度为65nm;两个条件下制备的样品均表现出明显的〈100〉方向的择优取向性,并且20W的结晶质量比10W的好.FTIR分析显示10W和20W制备的薄膜的带隙宽度分别为0.340eV和0.343eV,都比块体带隙宽度大.
任伟
曹文田
隋明晓
关键词:
PBTE
退火
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