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陈元培

作品数：43 被引量：40H指数：4
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程国家重点实验室开放基金中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
相关领域：电子电信机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 22篇专利
  • 18篇期刊文章
  • 3篇会议论文

领域

  • 10篇电子电信
  • 7篇机械工程
  • 6篇自动化与计算...
  • 6篇理学
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇航空宇航科学...
  • 1篇金属学及工艺

主题

  • 13篇原子
  • 12篇光刻
  • 10篇原子束
  • 9篇激光
  • 8篇驻波场
  • 6篇原子光刻
  • 5篇掩模
  • 5篇相机
  • 5篇纳米
  • 5篇激光驻波场
  • 5篇光学
  • 5篇波长
  • 4篇原子光学
  • 4篇物镜
  • 4篇光刻物镜
  • 4篇分辨力
  • 4篇测试装置
  • 3篇星敏感器
  • 3篇衍射
  • 3篇敏感器

机构

  • 43篇中国科学院

作者

  • 43篇陈元培
  • 26篇陈旭南
  • 19篇陈献忠
  • 18篇李展
  • 12篇高洪涛
  • 12篇姚汉民
  • 11篇石建平
  • 7篇刘恩海
  • 7篇周向东
  • 7篇赵汝进
  • 6篇罗先刚
  • 6篇秦涛
  • 5篇余国彬
  • 4篇何上封
  • 4篇韩维强
  • 3篇田世雄
  • 3篇刘光林
  • 3篇张辉
  • 3篇魏全忠
  • 3篇周黎

传媒

  • 4篇微细加工技术
  • 3篇光电工程
  • 3篇光学仪器
  • 2篇激光杂志
  • 1篇光电子．激光
  • 1篇光学精密工程
  • 1篇光子学报
  • 1篇微纳电子技术
  • 1篇空间控制技术...
  • 1篇中国科学：物...
  • 1篇2003年十...
  • 1篇第十二届全国...
  • 1篇中国微米/纳...

年份

  • 3篇2022
  • 3篇2020
  • 1篇2018
  • 1篇2014
  • 1篇2012
  • 1篇2010
  • 2篇2009
  • 1篇2006
  • 3篇2005
  • 4篇2004
  • 12篇2003
  • 3篇2002
  • 3篇2001
  • 4篇2000
  • 1篇1999
共 43 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
原子光刻用超高真空蒸发设备的设计和建立被引量：1
2004年
原子光刻是原子光学在微细加工技术领域的新应用.在对各种材料和真空泵性能综合考虑的基础上,设计并建立了一台用于原子光刻的超高真空蒸发设备.主要设计参数为:极限真空度和工作真空度分别为2.0×10-6 Pa 和1.0×10-5 Pa,原子源温度在300～1850℃范围内连续可调.初步运行结果表明极限真空度优于设计参数,温度连续可调.
陈献忠姚汉民陈旭南李展陈元培高洪涛石建平
关键词：原子光刻原子光学微细加工技术
一种Bayer滤波阵列彩色相机图像非均匀性校正方法
一种Bayer滤波阵列彩色相机图像非均匀性校正方法，步骤包括：(1)获取Bayer滤波阵列彩色相机在均匀光照下的多幅Bayer格式图像；(2)将获取的均匀光照下的Bayer格式图像分解为三幅图像，分别对应红(R)、绿(G...
赵汝进刘恩海余国彬陈元培钟杰周向东王进周武林
文献传递
ICCD及宽视场电视测量系统畸变的精密测量被引量：1
2000年
分析了大型光电跟踪监测望远镜核心部件 ICCD及宽视场电视测量系统畸变的测量方法和测量装置 ,给出了其中一台系统畸变测量的结果 ,并分析了影响系统畸变测量精度的因素。
陈元培田世雄罗永萍范天泉
关键词：ICCD望远镜
全息片质量对原子全息光刻图形影响的模拟研究
2003年
全息片质量是影响原子全息光刻再现图形质量的关键因素,然而其制作工艺复杂,工序繁多,质量难以控制,模拟研究有助于把握全息片制作工艺中的关键环节,提高全息片的质量。详细模拟了全息片的三个主要质量指标:刻透率、分辨力以及薄膜厚度对再现像质的影响,结果表明:刻透率控制在90%左右即可满足要求,分辨率应优于0.1μm,膜层应尽量均匀。
石建平陈旭南陈献忠高洪涛陈元培秦涛
关键词：分辨力薄膜厚度
光刻物镜分辨力与传函测试装置
本发明公开了一种光刻物镜分辨力与传函测试装置，它克服了现有物镜测试仪器只能测试尺寸重量小、测试时可卧倒放置、精度较低的常规小型物镜的缺点。它由减振基板、大支架、照明系统、测试板、显微物镜和CCD接收器连接而成的图象接收器...
陈旭南何上封魏全忠李展陈元培
文献传递
一种亚波长光刻新技术
本文打破传统靠缩短光刻波长提高光刻分辨率的思路,介绍一种利用波长比光刻波长小得多的等离子表面波,可穿过尺度很小的纳米孔和缝传播,实现用一般波长光进行亚波长光刻的物理原理与光刻方案,可大幅度提高超微细图形光学光刻分辨率,并...
陈旭南石建平陈献忠陈元培秦涛
关键词：纳米分辨率
文献传递
一种半导体材料横向周期搀杂的方法及其装置
本发明涉及一种实现半导体材料周期搀杂方法及装置，由真空室、原子源、准直孔、反射镜等构成，在半导体材料的生长过程中同时沉积本体材料和被搀杂材料，激光驻波场仅对被搀杂材料起作用，使被搀杂原子在横向形成周期密度分布，本体材料均...
陈献忠姚汉民陈旭南陈元培
文献传递
一种原子束源系统
本实用新型涉及一种可以制作纳米结构的原子束源系统。该系统由供气系统、亚稳态氦原子束发生室、斩波器、激光准直系统等组成，利用供气系统提供的氦气生成亚稳态氦原子束，通过斩波器、激光准直系统等压缩原子束的纵横向速度及其速度分布...
高洪涛陈旭南李展陈元培
文献传递
一种Bayer滤波阵列彩色相机图像非均匀性校正方法
一种Bayer滤波阵列彩色相机图像非均匀性校正方法，步骤包括：(1)获取Bayer滤波阵列彩色相机在均匀光照下的多幅Bayer格式图像；(2)将获取的均匀光照下的Bayer格式图像分解为三幅图像，分别对应红(R)、绿(G...
赵汝进刘恩海余国彬陈元培钟杰周向东王进周武林
纳米加工中的光驻波场研究被引量：3
2000年
介绍了纳米加工中的光驻波场 ,分别对单反射面和双反射面形成的驻波进行了分析 ,并对不同区域的光强分布进行了理论推导。最后对如何形成高质量的光驻波场进行了探讨。
陈献忠姚汉民李展陈元培罗先刚康西巧
关键词：光强分布光场
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